نيتريد السليكون كتل سيراميك ، بلاط ، ألواح ، إلخ
سمات
►قوة عالية: قوة الانحناء حوالي ضعف تلك الموجودة في ركائز AL2O3 و ALN.
►الموصلية الحرارية العالية: إنها أعلى بثلاث مرات من الركيزة AL2O3.
►خفيف ورقيق: يمكن أن يصل سمكه إلى 1/2 ركيزة AlN
►مقاومة ممتازة للصدمات الحرارية: معامل التمدد الحراري قريب من السيليكون.
بند | وحدة | Al2O3 | عين | Si3N4 | |
كثافة | ز / سم 2 | 3.75 | 3.3 | 3.22 | |
سماكة | mm | 0.3175 ~ 1.0 | 0.4 ~ 2.5 | 0.238 ~ 0.635 | |
مستوى خشونة السطح (رع) | ميكرومتر | 0.4 | 0.2 | 0.4 | |
الخواص الميكانيكية | قوة الانحناء | الآلام والكروب الذهنية | 310 ~ 400 | 300 ~ 450 | 650 |
معامل يونج | المعدل التراكمي | 330 | 320 | 310 | |
صلابة فيكرز | المعدل التراكمي | 14 | 11 | 15 | |
كسر صلابة | Mpa.ml / 2 | 3 ~ 4 | 2 ~ 4 | 5 ~ 7 | |
معامل التمدد الحراري | 10-6 / ك | 7.1 ~ 8.1 | 4.5 ~ 4.6 | 2.6 | |
توصيل حراري | W / (م ك) | 20 ~ 30 | 160 ~ 255 | 60 ~ 120 | |
حرارة نوعية | J / (كجم / كلفن) | 750 | 720 | 680 | |
الخصائص الكهربائية | ثابت العزل الكهربائي | / | 9 ~ 10 | 8 ~ 9 | 7 ~ 9 |
ظل الخسارة العازلة | ... 10-3 | 0.2 | 0.3 | 0.4 | |
حجم المقاومة | ميكرومتر | >1012 | >1012 | >1012 | |
جهد الانهيار | كيلو فولت / مم | >12 | >14 | >14 |