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Keramische Zielscheibe
Keramische Ziele
Keramische Targets sind relativ spröde Targets.Üblicherweise werden Keramiktargets zusammen mit einer Trägerplatte verwendet.Zusätzlich zur Unterstützung des Keramiktargets während des Sputterprozesses kann die Trägerplatte auch eine Rolle bei der Wärmeübertragung während des Sputterprozesses spielen.Es gibt viele Arten von keramischen Targets und eine breite Palette von Anwendungen, die hauptsächlich auf dem Gebiet der Mikroelektronik, Displays, Speicherung und anderen Bereichen verwendet werden.Als Grundmaterial für die Entwicklung der nichtmetallischen Dünnschichtindustrie haben keramische Targets eine beispiellose Entwicklung erreicht.
