SiC-Produkte haben hervorragende mechanische Eigenschaften bei Raumtemperatur, wie z. B. hohe Festigkeit, hohe Härte, hohes Elastizitätsmodul usw. Es hat auch eine hervorragende Hochtemperaturstabilität, wie z. B. eine hohe Wärmeleitfähigkeit und einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, sowie eine gute spezifische Steifigkeit und optische Verarbeitungsleistung.Es ist besonders geeignet zur Herstellung von keramischen Präzisionsstrukturen für integrierte Schaltungsgeräte wie Lithografiemaschinen, wie z. B. bewegliche Präzisionsarbeitstische, Rahmen, Saugnäpfe, wassergekühlte Platten, Präzisionsmessspiegel, Gitter und andere keramische Strukturen, die in Lithografiemaschinen verwendet werden.Nach Jahren des technischen Durchbruchs hat KSINO das Problem der Präzisionsbearbeitung und Produkte wie große Abmessungen, dünne Dicken, Hohlstrukturen und andere komplexe SiC-Strukturteile gelöst.Dies durchbricht nicht nur den technischen Engpass der Fertigungstechnologie für Präzisionsbauteile aus Siliziumkarbid, sondern fördert auch die Lokalisierung von Schlüsselbauteilen für Fertigungsanlagen für integrierte Schaltkreise.