Basis aus Siliziumkarbid
Anwendung
►Es wird für die Übertragung von Wafern in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet.
►In der Halbleiterfertigung wird ein hauchdünner Wafer auf einen Vakuumsauger aus Siliziumkarbid gelegt, mit einem Vakuumerzeuger verbunden und durch Vakuumansaugung fixiert.
►Es kann in Lithografie, Ätzen, Laserbearbeitung, Wafererkennung und anderen Prozessen verwendet werden.
Eigenschaften und Vorteile
►Es hat eine genaue Größe und thermische Stabilität, eine gute Wärmeleitfähigkeit und einen niedrigen Ausdehnungskoeffizienten.
►Hohe spezifische Steifigkeit und hervorragende thermische Gleichmäßigkeit, die nach längerem Gebrauch nicht leicht zu biegen und zu verformen ist;
►Es hat eine glatte Oberfläche und eine gute Verschleißfestigkeit, um den Chip ohne Partikelverschmutzung sicher zu handhaben.Der Porendurchmesser ist klein und gleichmäßig verteilt, und jeder Bereich des Wafers kann gleichmäßig adsorbiert werden.
►Der spezifische Widerstand von SSiC-Siliziumkarbid beträgt 106–108 Ω, und es ist nicht magnetisch und erfüllt die Anforderungen der ESD-Spezifikationen;Es kann verhindern, dass sich statische Elektrizität auf der Chipoberfläche ansammelt.
►Hervorragende Säure- und Alkalikorrosionsbeständigkeit
►Plasmaschlagfestigkeit
Spezifikation
Dverschiedene Formen und Größenwerden produziertentsprechend das Design Zeichnungen.
Produktserie von SSiC-Produkten
| SSiC-Produktkategorie | Gängige Produktnamen |
| Hochpräzise Komponenten für Halbleiterprozesse und optisch-mechanische Geräte | SiC-Kristallschiffchen, mechanischer Arm, SiC-Basis, dreieckige Halterung, SiC-Sauger usw |
| Teile für die Glasformung | SiC-Heizplatte, SiC-Tränkplatte, SiC-Form, SiC-Formhülse |
| Kugelsichere Keramiksteine und Keramikplatten | SSiC kugelsichere Einsatzplatte, SSiC kugelsicheres Stück, SSiC kugelsicherer Block |
| Optische Reflektorkomponenten | Optischer SSiC-Reflektor |
| Fluid Control-Serie | SSiC-Dichtring, SSiC-Düse, SSiC-Laufrad, SSiC-Wellenhülse, SSiC-Kolbenstange |
| Hochtemperaturbeständige Teile | SSiC-Brennstab, Vierkantbalken und Rolle, SSiC-Tiegel, SSiC-Brennerhülse, SSiC-Ofenrohr, SSiC-Schutzrohr |
| Chemisch korrosionsbeständige Teile | SSiC-Schutzhülse, SSiC-Düse, SSiC-Kopf, Wärmetauscher-Rohrboden, SSiC-Rohrbündelblock, SSiC-Wärmetauscherplatte, SSiC-Wärmetauscherrohr, SSiC-Wärmetauscher-Steuerblock, SSiC-Wärmetauscherblock, Mikroreaktionsmodul |
| Ionenbeständige Ätzteile | SSiC-CMP-Träger, SSiC-ICP-Träger, SSiC-PVD-Träger, SSiC-RTA-Träger, SSiC-Träger |
| Verschleißfeste Teile | SSiC-Schleifzylinder, SSiC-verschleißfestes Rohr, SSiC-verschleißfester Stein, SSiC-verschleißfeste Platte, SSiC-Dichtring, SSiC-Sandstrahldüse, SSiC-Düse, SSiC-Mahlkugel, SSiC-Schraube und -Mutter |
| SSiC-Lager | SSiC-Lager, Lagerkugel aus Keramik |
| Mikrokanal-Reaktionseinheit | SSiC-Reaktionsplatte, SSiC-Reaktionsgefäß, SSiC-Mikroreaktionsmodul |
| SSiC-Röhre | Wärmetauscherrohr, Wärmetauscher Keramikrohr |
| Wellenhülse aus SSiC | SSiC-Lagerhülse, SSiC-Präzisionskeramiklager, SSiC-Wellenhülse |
| Andere kundenspezifische Produkte | SSiC kundenspezifische Teile, SSiC kundenspezifische Keramikteile |
