Produkte

Geätzte Scheibe und Manipulator aus Siliziumkarbid

kurze Beschreibung:

SiC-Produkte haben hervorragende mechanische Eigenschaften bei Raumtemperatur, wie z. B. hohe Festigkeit, hohe Härte, hohes Elastizitätsmodul usw. Es hat auch eine hervorragende Hochtemperaturstabilität, wie z. B. eine hohe Wärmeleitfähigkeit und einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, sowie eine gute spezifische Steifigkeit und optische Verarbeitungsleistung.Es ist besonders geeignet zur Herstellung von keramischen Präzisionsstrukturen für integrierte Schaltungsgeräte wie Lithografiemaschinen, wie z. B. bewegliche Präzisionsarbeitstische, Rahmen, Saugnäpfe, wassergekühlte Platten, Präzisionsmessspiegel, Gitter und andere keramische Strukturen, die in Lithografiemaschinen verwendet werden.Nach Jahren des technischen Durchbruchs hat KSINO das Problem der Präzisionsbearbeitung und Produkte wie große Abmessungen, dünne Dicken, Hohlstrukturen und andere komplexe SiC-Strukturteile gelöst.Dies durchbricht nicht nur den technischen Engpass der Fertigungstechnologie für Präzisionsbauteile aus Siliziumkarbid, sondern fördert auch die Lokalisierung von Schlüsselbauteilen für Fertigungsanlagen für integrierte Schaltkreise.


Produktdetail

FAQ

Produkt Tags

Anwendung

1. Zu den SiC-Produkten gehören hauptsächlich gesintertes Siliziumkarbid (SSiC), reaktionsgesintertes Siliziumkarbid (RBSC) und chemisches Dampfabscheidungs-Siliziumkarbid (CVD-SiC).

2. SiC-Produkt hat verschiedene hervorragende Eigenschaften:

Superhärte

Hervorragende Verschleißfestigkeit

Hohe Wärmeleitfähigkeit und mechanische Festigkeit

Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient

Hervorragende thermische Stabilität

Geringe Dichte

Spezifische Steifigkeit

Nichtmagnetisch

3. Derzeit werden SiC-Produkte in der Luft- und Raumfahrt, der Nuklearindustrie und anderen Industrien verwendet, z. B. SiC-Spiegel, Keramikteile für High-End-Geräte wie die Herstellung integrierter Schaltkreise, Wärmetauscher unter extremen Bedingungen, kugelsichere Materialien usw.

Eigenschaften

SP-F

SP-K

SP-CT

Dichte g/cm3

2.98-3.02

3.16

3.1

Youngscher Modul Gpa

368

440

393

Biegefestigkeit Mpa

334

450

462

Weibull

8.35

/

/

CTE(*10-6/℃)

100℃

2,8x10-6

40-400℃

3,7x10-6

25-1000℃

4,3x10-6

400℃

3,6x10-6

800℃

4,2x10-6

40-800℃

4,4x10-6

1000℃

4,6x10-6

Wärmeleitfähigkeit 20℃ (W/mk)

160-180

200

125

Poisson-Zahl

0,187

0,17

0,2

Schermodul Gpa

155

/

/

 


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