Siliziumnitrid-Keramikblöcke, Fliesen, Platten usw
Merkmale
►Hohe Festigkeit: Die Biegefestigkeit ist etwa doppelt so hoch wie die von AL2O3- und ALN-Substraten.
►Hohe Wärmeleitfähigkeit: Sie ist mehr als dreimal höher als das AL2O3-Substrat.
►Leicht und dünn: Seine Dicke kann 1/2 des AlN-Substrats erreichen
►Hervorragende Temperaturwechselbeständigkeit: Sein Wärmeausdehnungskoeffizient liegt nahe an dem von Silizium.
Artikel | Einheit | Al2O3 | AIN | Si3N4 | |
Dichte | g/cm2 | 3,75 | 3.3 | 3.22 | |
Dicke | mm | 0,3175 ~ 1,0 | 0,4 ~ 2,5 | 0,238 ~ 0,635 | |
Oberflächenrauheitsgrad (Ra) | μm | 0,4 | 0,2 | 0,4 | |
Mechanische Eigenschaften | Biegefestigkeit | Mpa | 310~400 | 300~450 | 650 |
Elastizitätsmodul | Gpa | 330 | 320 | 310 | |
Vickers-Härte | Gpa | 14 | 11 | 15 | |
Bruchzähigkeit | Mpa.ml/2 | 3~4 | 2~4 | 5~7 | |
Wärmeausdehnungskoeffizient | 10 -6/K | 7.1~8.1 | 4,5 ~ 4,6 | 2.6 | |
Wärmeleitfähigkeit | W/(mK) | 20~30 | 160~255 | 60~120 | |
Spezifische Wärme | J/(kg/K) | 750 | 720 | 680 | |
Elektrische Eigenschaften | Dielektrizitätskonstante | / | 9~10 | 8~9 | 7~9 |
Dielektrischer Verlustfaktor | ...10-3 | 0,2 | 0,3 | 0,4 | |
Volumenwiderstand | Ω.m | >1012 | >1012 | >1012 | |
Die Spannung unterbrechen | kv/mm | >12 | >14 | >14 |