Siliziumnitrid-Keramikblöcke, Fliesen, Platten usw
Merkmale
►Hohe Festigkeit: Die Biegefestigkeit ist etwa doppelt so hoch wie die von AL2O3- und ALN-Substraten.
  ►Hohe Wärmeleitfähigkeit: Sie ist mehr als dreimal höher als das AL2O3-Substrat.
  ►Leicht und dünn: Seine Dicke kann 1/2 des AlN-Substrats erreichen
  ►Hervorragende Temperaturwechselbeständigkeit: Sein Wärmeausdehnungskoeffizient liegt nahe an dem von Silizium.
|   Artikel  |    Einheit  |    Al2O3  |    AIN  |    Si3N4  |  |
|   Dichte  |    g/cm2  |    3,75  |    3.3  |    3.22  |  |
|   Dicke  |    mm  |    0,3175 ~ 1,0  |    0,4 ~ 2,5  |    0,238 ~ 0,635  |  |
|   Oberflächenrauheitsgrad (Ra)  |    μm  |    0,4  |    0,2  |    0,4  |  |
|   Mechanische Eigenschaften  |    Biegefestigkeit  |    Mpa  |    310~400  |    300~450  |    650  |  
|   Elastizitätsmodul  |    Gpa  |    330  |    320  |    310  |  |
|   Vickers-Härte  |    Gpa  |    14  |    11  |    15  |  |
|   Bruchzähigkeit  |    Mpa.ml/2  |    3~4  |    2~4  |    5~7  |  |
|   Wärmeausdehnungskoeffizient  |    10 -6/K  |    7.1~8.1  |    4,5 ~ 4,6  |    2.6  |  |
|   Wärmeleitfähigkeit  |    W/(mK)  |    20~30  |    160~255  |    60~120  |  |
|   Spezifische Wärme  |    J/(kg/K)  |    750  |    720  |    680  |  |
|   Elektrische Eigenschaften  |    Dielektrizitätskonstante  |    /  |    9~10  |    8~9  |    7~9  |  
|   Dielektrischer Verlustfaktor  |    ...10-3  |    0,2  |    0,3  |    0,4  |  |
|   Volumenwiderstand  |    Ω.m  |    >1012  |    >1012  |    >1012  |  |
|   Die Spannung unterbrechen  |    kv/mm  |    >12  |    >14  |    >14  |  |



 				





