Blanco de cerámica
Tipos de dianas cerámicas y sus respectivas aplicaciones
Según la aplicación, se puede dividir en objetivos cerámicos relacionados con semiconductores, objetivos cerámicos de visualización, objetivos cerámicos de grabación magnética, objetivos cerámicos de grabación óptica, objetivos cerámicos superconductores, objetivos cerámicos de magnetorresistencia gigante, etc.
Objetivos cerámicos relacionados con semiconductores (HfO, SiO, Si3N4, MoSi, TaSi, WSi, TiSi, PLZT, ITO, utilizados principalmente en películas dieléctricas de compuerta. Película de difusión, película de barrera de difusión, película aislante de capacitor, película conductora transparente;
Mostrar diana cerámica ZnS—Manganeso, ZnS-Tb, ZnS-Sm, CaS-Eu, SrS-Ce, Si3N4, MgO
Objetivo de cerámica de grabación magnética Si3N4, utilizado principalmente en cabeza magnética, protección de disco magneto-óptico (MO);
Rastrillo cerámico de grabación óptica Si3N4, utilizado principalmente en películas protectoras de discos ópticos;
Objetivos cerámicos superconductores YbaCuO, BiSrCaCuO, utilizados principalmente en películas delgadas superconductoras;
Objetivo de cerámica de magnetorresistencia gigante, utilizado principalmente en ventanas de células solares de película delgada;
Otras aplicaciones apuntan a InO, LiNbO, BaTiO, PZT.ZnO, utilizado principalmente en células solares, películas delgadas piezoeléctricas
De acuerdo con la composición química, se puede dividir en objetivos cerámicos de óxido, objetivos cerámicos de siliciuro, objetivos cerámicos de nitruro, objetivos cerámicos de fluoruro y objetivos cerámicos de sulfuro, etc. Entre ellos, el objetivo cerámico ITO de pantalla plana ha sido ampliamente producido y aplicado en China. ..Los objetivos cerámicos para películas aislantes de alto dieléctrico y los objetivos cerámicos gigantes de magnetorresistencia tienen amplias perspectivas de aplicación.
Ejemplo
Los objetivos de pulverización catódica de cerámica de óxido son los objetivos más comunes entre los objetivos de pulverización catódica de cerámica avanzada.Las cerámicas de óxido se pueden fabricar mediante sinterización a altas temperaturas, con uno o más óxidos como componente principal y otros óxidos secundarios como aditivos.Se dividen en cerámicas de óxidos simples y cerámicas de óxidos complejas.Los objetivos comunes de pulverización catódica de este tipo incluyen óxido de aluminio (Al2O3), óxido de magnesio (MgO), óxido de berilio (BeO), óxido de circonio (ZrO2) y otros.La mayoría de las cerámicas de óxido tienen altos puntos de fusión, excelente aislamiento, resistencia térmica, propiedades antioxidantes y anticorrosivas.Por lo tanto, pueden estar expuestos a altas temperaturas y ambientes oxidantes durante mucho tiempo, y son dignos de una amplia aplicación en el campo de la ingeniería.