base de carburo de silicio
Solicitud
►Se utiliza para la transmisión de obleas en procesos de fabricación de semiconductores.
►En la fabricación de semiconductores, se coloca una oblea extremadamente delgada en una ventosa de carburo de silicio, se conecta a un generador de vacío y se fija mediante succión al vacío.
►Se puede utilizar en litografía, grabado, procesamiento láser, detección de obleas y otros procesos.
Características y ventajas
►Tiene tamaño preciso y estabilidad térmica, buena conductividad térmica y bajo coeficiente de expansión.
►Alta rigidez específica y excelente uniformidad térmica, que no es fácil de doblar y deformar después de un uso prolongado;
►Tiene una superficie lisa y buena resistencia al desgaste, para manejar el chip de forma segura sin contaminación por partículas.El diámetro de los poros es pequeño y está distribuido uniformemente, y cada área de la oblea se puede adsorber uniformemente.
►La resistividad del carburo de silicio SSiC es de 106-108 Ω y no es magnético, por lo que cumple con los requisitos de las especificaciones ESD;Puede evitar que la electricidad estática se acumule en la superficie del chip.
►Excelente resistencia a la corrosión ácida y alcalina
►Resistencia al impacto de plasma
Especificación
Ddiferentes formas y tamañosson producidosde acuerdo a el diseño dibujos.
Serie de productos de productos SSiC
| Categoría de producto SSiC | Nombres comunes de productos |
| Componentes de alta precisión para procesos de semiconductores y equipos mecánicos ópticos | Bote de cristal SiC, brazo mecánico, base SiC, soporte triangular, ventosa SiC, etc. |
| Piezas para la formación de vidrio | Placa calefactora de SiC, placa de inmersión de SiC, molde de SiC, manguito de molde de SiC |
| Ladrillos cerámicos antibalas y placas cerámicas | Placa de inserción antibalas SSiC, pieza antibalas SSiC, bloque antibalas SSiC |
| Componentes del reflector óptico | Reflector óptico SSiC |
| Serie de control de fluidos | Anillo de sello SSiC, boquilla SSiC, impulsor SSiC, manguito del eje SSiC, vástago del émbolo SSiC |
| Piezas resistentes a altas temperaturas | Barra de combustión SSiC, viga cuadrada y rodillo, crisol SSiC, camisa de quemador SSiC, tubo de horno SSiC, tubo protector SSiC |
| Piezas resistentes a la corrosión química | Manguito protector SSiC, boquilla SSiC, cabezal SSiC, placa de tubos del intercambiador de calor, bloque de haz de tubos SSiC, placa de intercambio de calor SSiC, tubo de intercambio de calor SSiC, bloque de control de intercambio de calor SSiC, bloque de intercambio de calor SSiC, módulo de microrreacción |
| Piezas de grabado resistentes a iones | Portador SSiC CMP, Portador SSiC ICP, Portador SSiC PVD, Portador SSiC RTA, Portador SSiC |
| Piezas resistentes al desgaste | Cilindro abrasivo SSiC, tubo resistente al desgaste SSiC, ladrillo resistente al desgaste SSiC, placa resistente al desgaste SSiC, anillo de sellado SSiC, boquilla de chorro de arena SSiC, boquilla SSiC, bola abrasiva SSiC, tornillo y tuerca SSiC |
| Rodamiento SSiC | Rodamiento SSiC, rodamiento de bolas de cerámica |
| Unidad de reacción de microcanal | Placa de reacción SSiC, tubo de reacción SSiC, módulo de microrreacción SSiC |
| tubo SSiC | Tubo de intercambiador de calor, tubo de cerámica de intercambiador de calor |
| Camisa del eje SSiC | Manguito de cojinete SSiC, cojinete cerámico de precisión SSiC, manguito de eje SSiC |
| Otros productos personalizados | Piezas personalizadas SSiC, piezas cerámicas personalizadas SSiC |
