Bloques de cerámica de nitruro de silicio, azulejos, placas, etc.
Características
►Alta resistencia: la resistencia a la flexión es aproximadamente el doble que la de los sustratos AL2O3 y ALN.
►Alta conductividad térmica: es más de 3 veces mayor que el sustrato AL2O3.
►Ligero y delgado: su espesor puede llegar a 1/2 del sustrato AlN
►Excelente resistencia al choque térmico: su coeficiente de expansión térmica es cercano al del silicio.
Artículo | Unidad | Al2O3 | AIN | Si3N4 | |
Densidad | g/cm2 | 3.75 | 3.3 | 3.22 | |
Grosor | mm | 0.3175~1.0 | 0,4~2,5 | 0.238~0.635 | |
Nivel de rugosidad superficial (Ra) | micras | 0.4 | 0.2 | 0.4 | |
Propiedades mecánicas | resistencia a la flexión | MPa | 310~400 | 300~450 | 650 |
El módulo de Young | promedio general | 330 | 320 | 310 | |
Dureza Vickers | promedio general | 14 | 11 | 15 | |
tenacidad a la fractura | Mpa.ml/2 | 3~4 | 2~4 | 5~7 | |
Coeficiente de expansión térmica | 10 -6/K | 7.1~8.1 | 4,5~4,6 | 2.6 | |
Conductividad térmica | W/(mK) | 20~30 | 160~255 | 60~120 | |
Calor especifico | J/(kg/K) | 750 | 720 | 680 | |
Características electricas | Constante dieléctrica | / | 9~10 | 8 ~ 9 | 7~9 |
tangente de pérdidas dieléctricas | ...10-3 | 0.2 | 0.3 | 0.4 | |
Resistividad de volumen | Ω.m | >1012 | >1012 | >1012 | |
Cortocircuito | kv/mm | >12 | >14 | >14 |