پایه کاربید سیلیکون
کاربرد
►برای انتقال ویفرها در فرآیندهای تولید نیمه هادی استفاده می شود.
►در تولید نیمه هادی، یک ویفر بسیار نازک روی مکنده خلاء کاربید سیلیکون قرار می گیرد، به یک ژنراتور خلاء متصل می شود و با مکش خلاء ثابت می شود.
►می توان از آن در لیتوگرافی، اچینگ، پردازش لیزری، تشخیص ویفر و سایر فرآیندها استفاده کرد.
ویژگی ها و مزایا
►دارای اندازه دقیق و پایداری حرارتی، هدایت حرارتی خوب و ضریب انبساط کم است.
►سفتی خاص بالا و یکنواختی حرارتی عالی، که خم شدن و تغییر شکل دادن آن پس از استفاده طولانی مدت آسان نیست.
►دارای سطح صاف و مقاومت در برابر سایش خوب است، به طوری که با خیال راحت تراشه را بدون آلودگی ذرات اداره می کند.قطر منافذ کوچک و به طور مساوی توزیع شده است و هر ناحیه از ویفر می تواند به طور یکنواخت جذب شود.
►مقاومت کاربید سیلیکون SSiC 106-108 Ω است و غیر مغناطیسی است و الزامات مشخصات ESD را برآورده می کند.می تواند از تجمع الکتریسیته ساکن روی سطح تراشه جلوگیری کند.
►مقاومت در برابر خوردگی اسیدی و قلیایی عالی
►مقاومت در برابر ضربه پلاسما
مشخصات
Dاشکال و اندازه های متفاوتتولید می شوندمطابق با طراحی نقاشی ها
سری محصولات محصولات SSiC
| دسته محصول SSiC | نام های رایج محصولات |
| قطعات با دقت بالا برای فرآیند نیمه هادی و تجهیزات مکانیکی نوری | قایق کریستالی SiC، بازوی مکانیکی، پایه SiC، پشتیبانی مثلثی، مکنده SiC و غیره |
| قطعات برای شکل دهی شیشه | صفحه گرمایش SiC، صفحه خیساندن SiC، قالب SiC، آستین قالب SiC |
| آجر و صفحات سرامیکی ضد گلوله | صفحه درج ضد گلوله SSiC، قطعه ضد گلوله SSiC، بلوک ضد گلوله SSiC |
| اجزای بازتابنده نوری | بازتابنده نوری SSiC |
| سری کنترل مایعات | حلقه مهر و موم SSiC، نازل SSiC، پروانه SSiC، آستین شفت SSiC، میله پیستون SSiC |
| قطعات مقاوم در برابر دمای بالا | میله سوزاندن SSiC، تیر و غلتک مربع، بوته SSiC، آستین مشعل SSiC، لوله کوره SSiC، لوله محافظ SSiC |
| قطعات مقاوم در برابر خوردگی شیمیایی | آستین محافظ SSiC، نازل SSiC، سر SSiC، ورق لوله مبدل حرارتی، بلوک باندل لوله SSiC، صفحه تبادل حرارتی SSiC، لوله تبادل حرارتی SSiC، بلوک کنترل تبادل حرارتی SSiC، بلوک تبادل حرارتی SSiC، ماژول میکرو واکنش |
| قطعات حکاکی مقاوم در برابر یون | حامل SSiC CMP، حامل SSiC ICP، حامل SSiC PVD، حامل SSiC RTA، حامل SSiC |
| قطعات مقاوم در برابر سایش | سیلندر سنگ زنی SSiC، لوله مقاوم در برابر سایش SSiC، آجر مقاوم در برابر سایش SSiC، صفحه مقاوم در برابر سایش SSiC، حلقه آب بندی SSiC، نازل سندبلاست SSiC، نازل SSiC، توپ سنگ زنی SSiC، پیچ و مهره SSiC |
| بلبرینگ SSiC | بلبرینگ SSiC، بلبرینگ سرامیکی |
| واحد واکنش میکروکانالی | صفحه واکنش SSiC، لوله واکنش SSiC، ماژول میکرو واکنش SSiC |
| لوله SSiC | لوله مبدل حرارتی، لوله سرامیکی مبدل حرارتی |
| آستین شفت SSiC | آستین بلبرینگ SSiC، یاتاقان سرامیکی دقیق SSiC، آستین شفت SSiC |
| سایر محصولات سفارشی | قطعات سفارشی SSiC، قطعات سرامیکی سفارشی SSiC |
