بلوک های سرامیکی نیترید سیلیکون، کاشی ها، صفحات و غیره
امکانات
►استحکام بالا: استحکام خمشی حدود دو برابر زیرلایه های AL2O3 و ALN است.
►هدایت حرارتی بالا: بیش از 3 برابر بیشتر از بستر AL2O3 است.
►سبک و نازک: ضخامت آن می تواند به 1/2 زیرلایه AlN برسد
►مقاومت در برابر شوک حرارتی عالی: ضریب انبساط حرارتی آن نزدیک به سیلیکون است.
| مورد | واحد | Al2O3 | AIN | Si3N4 | |
| تراکم | g/cm2 | 3.75 | 3.3 | 3.22 | |
| ضخامت | mm | 0.3175 ~ 1.0 | 0.4 ~ 2.5 | 0.238~0.635 | |
| سطح زبری سطح (Ra) | میکرومتر | 0.4 | 0.2 | 0.4 | |
| ویژگی های مکانیکی | قدرت خمشی | Mpa | 310 تا 400 | 300 تا 450 | 650 |
| مدول یانگ | GPA | 330 | 320 | 310 | |
| سختی ویکرز | GPA | 14 | 11 | 15 | |
| چقرمگی شکست | Mpa.ml/2 | 3 ~ 4 | 2 ~ 4 | 5 تا 7 | |
| ضریب انبساط حرارتی | 10 -6/K | 7.1 ~ 8.1 | 4.5 ~ 4.6 | 2.6 | |
| هدایت حرارتی | W/(mK) | 20 تا 30 | 160 تا 255 | 60 تا 120 | |
| گرمای خاص | J/(kg/K) | 750 | 720 | 680 | |
| مشخصات الکتریکی | ثابت دی الکتریک | / | 9 تا 10 | 8 تا 9 | 7 تا 9 |
| مماس تلفات دی الکتریک | ...10-3 | 0.2 | 0.3 | 0.4 | |
| میزان مقاومت | Ω.m | ＞1012 | ＞1012 | ＞1012 | |
| ولتاژ شکست | kv/mm | ＞12 | ＞14 | ＞14 | |
