Cibles en céramique
Les cibles en céramique sont des cibles relativement fragiles.Habituellement, les cibles en céramique sont utilisées avec une plaque de support.En plus de supporter la cible en céramique pendant le processus de pulvérisation, la plaque de support peut également jouer un rôle dans le transfert de chaleur pendant le processus de pulvérisation.Il existe de nombreux types de cibles en céramique et une large gamme d'applications, principalement utilisées dans le domaine de la microélectronique, des écrans, du stockage et d'autres domaines.En tant que matériau de base pour le développement de l'industrie des couches minces non métalliques, les cibles en céramique ont atteint un développement sans précédent.