Cible en céramique
Types de cibles céramiques et leurs applications respectives
Selon l'application, il peut être divisé en cibles céramiques liées aux semi-conducteurs, cibles céramiques d'affichage, cibles céramiques d'enregistrement magnétique, cibles céramiques d'enregistrement optique, cibles céramiques supraconductrices, cibles céramiques à magnétorésistance géante, etc.
Cibles céramiques liées aux semi-conducteurs (HfO, SiO, Si3N4, MoSi, TaSi, WSi, TiSi, PLZT, ITO, principalement utilisées dans les films diélectriques de grille. Film de diffusion, film barrière de diffusion, film isolant de condensateur, film conducteur transparent ;
Affichage céramique cible ZnS—Mn, ZnS-Tb, ZnS-Sm, CaS-Eu, SrS-Ce, Si3N4, MgO
Cible en céramique d'enregistrement magnétique Si3N4, principalement utilisée dans la protection de la tête magnétique, du disque magnéto-optique (MO);
Râteau en céramique d'enregistrement optique Si3N4, principalement utilisé dans le film protecteur de disque optique;
Cibles céramiques supraconductrices YbaCuO, BiSrCaCuO, principalement utilisées dans les couches minces supraconductrices ;
Cible en céramique à magnétorésistance géante, principalement utilisée dans les fenêtres de cellules solaires à couches minces ;
Autres cibles d'application InO, LiNbO, BaTiO, PZT.ZnO, principalement utilisé dans les cellules solaires, couches minces piézoélectriques
Selon la composition chimique, il peut être divisé en cibles en céramique d'oxyde, cibles en céramique de siliciure, cibles en céramique de nitrure, cibles en céramique de fluorure et cibles en céramique de sulfure, etc. Parmi elles, la cible en céramique ITO à écran plat a été largement produite et appliquée en Chine ..Les cibles céramiques pour les films isolants diélectriques élevés et les cibles céramiques à magnétorésistance géante ont de larges perspectives d'application.
Exemple
Les cibles de pulvérisation en céramique d'oxyde sont les cibles les plus courantes parmi les cibles de pulvérisation en céramique avancées.Les céramiques oxydes peuvent être fabriquées par frittage à haute température, avec un ou plusieurs oxydes comme constituant principal et d'autres oxydes mineurs comme additifs.Ils sont divisés en céramiques oxydes simples et en céramiques oxydes complexes.Les cibles de pulvérisation courantes de ce type comprennent l'oxyde d'aluminium (Al2O3), l'oxyde de magnésium (MgO), l'oxyde de béryllium (BeO), l'oxyde de zirconium (ZrO2) et autres.La plupart des céramiques d'oxyde ont des points de fusion élevés, une excellente isolation, une résistance thermique, des propriétés antioxydantes et anticorrosion.Par conséquent, ils peuvent être exposés à des températures élevées et à un environnement oxydant pendant une longue période, et sont dignes d'une large application dans le domaine de l'ingénierie.