Base en carbure de silicium
Application
►Il est utilisé pour la transmission de plaquettes dans les processus de fabrication de semi-conducteurs.
►Dans la fabrication de semi-conducteurs, une plaquette extrêmement fine est placée sur une ventouse à vide en carbure de silicium, connectée à un générateur de vide et fixée par aspiration à vide.
►Il peut être utilisé dans la lithographie, la gravure, le traitement au laser, la détection de plaquettes et d'autres processus.
Caractéristiques et avantages
►Il a une taille précise et une stabilité thermique, une bonne conductivité thermique et un faible coefficient de dilatation.
►Rigidité spécifique élevée et excellente uniformité thermique, difficile à plier et à déformer après une utilisation à long terme;
►Il a une surface lisse et une bonne résistance à l'usure, de manière à manipuler en toute sécurité la puce sans pollution par les particules.Le diamètre des pores est petit et uniformément réparti, et chaque zone de la plaquette peut être adsorbée uniformément.
►La résistivité du carbure de silicium SSiC est de 106-108 Ω, et il est non magnétique, répondant aux exigences des spécifications ESD ;Il peut empêcher l'électricité statique de s'accumuler sur la surface de la puce.
►Excellente résistance à la corrosion acide et alcaline
►Résistance aux chocs plasma
spécification
Ddifférentes formes et taillessont produitsselon la conception dessins.
Série de produits de produits SSiC
| Catégorie de produit SSiC | Noms de produits courants |
| Composants de haute précision pour le processus des semi-conducteurs et les équipements mécaniques optiques | Bateau en cristal SiC, bras mécanique, base SiC, support triangulaire, ventouse SiC, etc. |
| Pièces pour le formage du verre | Plaque chauffante SiC, plaque de trempage SiC, moule SiC, manchon de moule SiC |
| Briques en céramique pare-balles et plaques en céramique | Plaque d'insertion pare-balles SSiC, pièce pare-balles SSiC, bloc pare-balles SSiC |
| Composants de réflecteur optique | Réflecteur optique SSiC |
| Série de contrôle des fluides | Bague d'étanchéité SSiC, buse SSiC, roue SSiC, chemise d'arbre SSiC, tige de piston SSiC |
| Pièces résistantes aux hautes températures | Barre de combustion SSiC, poutre carrée et rouleau, creuset SSiC, manchon de brûleur SSiC, tube de four SSiC, tube de protection SSiC |
| Pièces résistantes à la corrosion chimique | Manchon de protection SSiC, buse SSiC, tête SSiC, plaque tubulaire d'échangeur de chaleur, bloc de faisceau de tubes SSiC, plaque d'échange de chaleur SSiC, tube d'échange de chaleur SSiC, bloc de contrôle d'échange de chaleur SSiC, bloc d'échange de chaleur SSiC, module de micro-réaction |
| Pièces de gravure résistantes aux ions | Support SSiC CMP, support SSiC ICP, support SSiC PVD, support SSiC RTA, support SSiC |
| Pièces résistantes à l'usure | Cylindre de broyage SSiC, tuyau résistant à l'usure SSiC, brique résistante à l'usure SSiC, plaque résistante à l'usure SSiC, bague d'étanchéité SSiC, buse de sablage SSiC, buse SSiC, bille de broyage SSiC, boulon et écrou SSiC |
| Roulement SSiC | Roulement SSiC, roulement à billes en céramique |
| Unité de réaction à microcanaux | Plaque de réaction SSiC, tube de réaction SSiC, module de micro-réaction SSiC |
| Tube SSiC | Tube d'échangeur de chaleur, tube en céramique d'échangeur de chaleur |
| Chemise d'arbre SSiC | Manchon de roulement SSiC, roulement céramique de précision SSiC, manchon d'arbre SSiC |
| Autres produits personnalisés | Pièces personnalisées SSiC, pièces céramiques personnalisées SSiC |
