Blocs, carreaux, plaques, etc. en céramique de nitrure de silicium
Caractéristiques
►Haute résistance : La résistance à la flexion est environ le double de celle des substrats AL2O3 et ALN.
►Haute conductivité thermique : Elle est plus de 3 fois supérieure au substrat AL2O3.
►Léger et fin : son épaisseur peut atteindre 1/2 du substrat AlN
►Excellente résistance aux chocs thermiques : son coefficient de dilatation thermique est proche de celui du silicium.
Article | Unité | Al2O3 | AIN | Si3N4 | |
La densité | g/cm2 | 3,75 | 3.3 | 3.22 | |
Épaisseur | mm | 0.3175~1.0 | 0,4 ~ 2,5 | 0,238~0,635 | |
Niveau de rugosité de surface (Ra) | μm | 0,4 | 0,2 | 0,4 | |
Propriétés mécaniques | résistance à la flexion | MPa | 310~400 | 300~450 | 650 |
Module d'Young | Gpa | 330 | 320 | 310 | |
Dureté Vickers | Gpa | 14 | 11 | 15 | |
ténacité à la rupture | Mpa.ml/2 | 3~4 | 2~4 | 5 ~ 7 | |
Coefficient de dilatation thermique | 10 -6/K | 7.1~8.1 | 4.5~4.6 | 2.6 | |
Conductivité thermique | W/(mK) | 20 ~ 30 | 160~255 | 60 ~ 120 | |
Chaleur spécifique | J/(kg/K) | 750 | 720 | 680 | |
Caractéristiques électriques | Constante diélectrique | / | 9 ~ 10 | 8 ~ 9 | 7 ~ 9 |
Tangente de perte diélectrique | ...10-3 | 0,2 | 0,3 | 0,4 | |
Résistivité volumique | Ω.m | >1012 | >1012 | >1012 | |
Tension de claquage | kV/mm | >12 | >14 | >14 |