Substrat et pièces en céramique à haute conductivité thermique en nitrure de silicium
Supports de bobines en nitrure de silicium
Supports de bobines en nitrure de silicium sont largement utilisés comme capteurs dans l'exploitation minière souterraine, l'exploration géologique et d'autres domaines.
En tant que support de bobine de la bobine de capteur, le support de bobine en nitrure de silicium applique principalement les performances de dureté ultra-élevée de la céramique de nitrure de silicium et l'isolation non magnétique de la céramique de nitrure de silicium.En tant que support de bobine de capteur, il doit être isolé et amagnétique afin de transmettre avec précision les données collectées ;Dans le même temps, en tant que capteur pour l'exploration en profondeur, l'environnement souterrain est généralement complexe et seul le support à haute dureté peut protéger le capteur contre les dommages.De plus, le support en nitrure de silicium a certains effets protecteurs sur la bobine du capteur en raison de sa résistance à la corrosion, aux hautes et basses températures et à son faible coefficient de dilatation thermique.
Housse de protection d'électrode en nitrure de silicium
Housse de protection d'électrode en nitrure de siliciumest principalement utilisé pour l'isolation, la résistance à la chaleur et la résistance à la corrosion du nitrure de silicium.Par rapport aux housses de protection en quartz et en oxyde d'aluminium encore utilisées, la durée de vie des housses de protection des électrodes en nitrure de silicium est plus de 10 fois supérieure à celle des housses de protection des électrodes en nitrure de silicium, et elles ne seront pas électrocutées, chauffées ou corrodées pendant l'utilisation.En raison de sa stabilité, il y a beaucoup moins de facteurs non humains dans l'utilisation du four de réduction photovoltaïque.
Substrat à conductivité thermique élevée en nitrure de silicium (Si3N4)
Substrat en céramique de nitrure de silicium à haute conductivité thermique
Caractéristiques
►Haute résistance : La résistance à la flexion est environ le double de celle des substrats AL2O3 et ALN.
►Haute conductivité thermique : Elle est plus de 3 fois supérieure au substrat AL2O3.
►Léger et fin : son épaisseur peut atteindre 1/2 du substrat AlN
►Excellente résistance aux chocs thermiques : son coefficient de dilatation thermique est proche de celui du silicium.
Article | Unité | Al2O3 | AIN | Si3N4 | |
La densité | g/cm2 | 3,75 | 3.3 | 3.22 | |
Épaisseur | mm | 0.3175~1.0 | 0,4 ~ 2,5 | 0,238~0,635 | |
Niveau de rugosité de surface (Ra) | μm | 0,4 | 0,2 | 0,4 | |
Propriétés mécaniques | résistance à la flexion | MPa | 310~400 | 300~450 | 650 |
Module d'Young | Gpa | 330 | 320 | 310 | |
Dureté Vickers | Gpa | 14 | 11 | 15 | |
ténacité à la rupture | Mpa.ml/2 | 3~4 | 2~4 | 5 ~ 7 | |
Coefficient de dilatation thermique | 10 -6/K | 7.1~8.1 | 4.5~4.6 | 2.6 | |
Conductivité thermique | W/(mK) | 20 ~ 30 | 160~255 | 60 ~ 120 | |
Chaleur spécifique | J/(kg/K) | 750 | 720 | 680 | |
Caractéristiques électriques | Constante diélectrique | / | 9 ~ 10 | 8 ~ 9 | 7 ~ 9 |
Tangente de perte diélectrique | ...10-3 | 0,2 | 0,3 | 0,4 | |
Résistivité volumique | Ω.m | >1012 | >1012 | >1012 | |
Tension de claquage | kV/mm | >12 | >14 | >14 |