Sasaran Keramik
Jenis target keramik dan aplikasinya masing-masing
Menurut aplikasi, itu dapat dibagi menjadi target keramik semikonduktor terkait, target keramik tampilan, target keramik perekam magnetik, target keramik perekam optik, target keramik superkonduktor, target keramik resistansi magnet raksasa, dll.
Target keramik terkait semikonduktor (HfO, SiO, Si3N4, MoSi, TaSi, WSi, TiSi, PLZT, ITO, terutama digunakan dalam film dielektrik gerbang. Film difusi, film penghalang difusi, film isolasi kapasitor, film konduktif transparan;
Menampilkan target keramik ZnS—Mn, ZnS-Tb, ZnS-Sm, CaS-Eu, SrS-Ce, Si3N4, MgO
Rekaman magnetik target keramik Si3N4, terutama digunakan dalam perlindungan kepala magnetik, magneto-optical disk (MO);
Penggaruk keramik rekaman optik Si3N4, terutama digunakan dalam film pelindung cakram optik;
Target keramik superkonduktor YbaCuO, BiSrCaCuO, terutama digunakan dalam film tipis superkonduktor;
Target keramik magnetoresistance raksasa, terutama digunakan dalam jendela sel surya film tipis;
Aplikasi lain menargetkan InO, LiNbO, BaTiO, PZT.ZnO, terutama digunakan dalam sel surya, film tipis piezoelektrik
Menurut komposisi kimianya, dapat dibagi menjadi target keramik oksida, target keramik silisida, target keramik nitrida, target keramik fluorida dan target keramik sulfida, dll. Diantaranya, target keramik ITO layar datar telah banyak diproduksi dan diterapkan di China ..Target keramik untuk film isolasi dielektrik tinggi dan target keramik magnetoresistance raksasa memiliki prospek aplikasi yang luas.
Contoh
Target sputtering keramik oksida adalah target yang paling umum di antara target sputtering keramik tingkat lanjut.Keramik oksida dapat dibuat dengan sintering pada suhu tinggi, dengan satu atau lebih oksida sebagai konstituen utama dan oksida minor lainnya sebagai aditif.Mereka dibagi menjadi keramik oksida sederhana dan keramik oksida kompleks.Target sputtering umum dari jenis ini meliputi aluminium oksida (Al2O3), magnesium oksida (MgO), berilium oksida (BeO), zirkonium oksida (ZrO2), dan lain-lain.Sebagian besar keramik oksida memiliki titik leleh yang tinggi, insulasi yang sangat baik, kekuatan termal, sifat antioksidan dan korosi.Oleh karena itu, mereka dapat terpapar suhu tinggi dan lingkungan pengoksidasi untuk waktu yang lama, dan layak untuk diterapkan secara luas di bidang teknik.