Dasar silikon karbida

Deskripsi Singkat:

Komponen presisi tinggi untuk proses semikonduktor dan peralatan mekanis optik

Manipulator dan sasis silikon karbida SSiC dibentuk dengan proses pengepresan isostatik dan disinter dalam tungku sintering vakum pada suhu tinggi.Dimensi keseluruhan, dimensi ketebalan, dan bentuk dapat diselesaikan sesuai dengan persyaratan gambar desain pengguna untuk memenuhi persyaratan penggunaan khusus pengguna.

Kirim email kepada kami

Rincian produk

FAQ

Label Produk

Aplikasi

►Ini digunakan untuk transmisi wafer dalam proses pembuatan semikonduktor.
►Dalam pembuatan semikonduktor, wafer yang sangat tipis ditempatkan pada pengisap vakum silikon karbida, dihubungkan ke generator vakum, dan diperbaiki dengan pengisapan vakum.
►Ini dapat digunakan dalam litografi, etsa, pemrosesan laser, deteksi wafer, dan proses lainnya.

Fitur dan keunggulan

►Ini memiliki ukuran yang akurat dan stabilitas termal, konduktivitas termal yang baik dan koefisien ekspansi yang rendah.
►Kekakuan spesifik yang tinggi dan keseragaman termal yang sangat baik, yang tidak mudah ditekuk dan berubah bentuk setelah penggunaan jangka panjang;
►Ini memiliki permukaan yang halus dan ketahanan aus yang baik, sehingga dapat menangani chip dengan aman tanpa polusi partikel.Diameter pori kecil dan merata, dan setiap area wafer dapat diserap secara seragam.
►Resistivitas silikon karbida SSiC adalah 106-108 Ω, dan nonmagnetik, memenuhi persyaratan spesifikasi ESD;Itu dapat mencegah listrik statis terakumulasi pada permukaan chip.
►Ketahanan korosi asam dan alkali yang sangat baik
►resistensi dampak plasma

Spesifikasi

Dbentuk dan ukuran yang berbedadiproduksiberdasarkan desain gambar.

Rangkaian produk produk SSiC

kategori produk SSiC	Nama produk umum
Komponen presisi tinggi untuk proses semikonduktor dan peralatan mekanis optik	Kapal kristal SiC, lengan mekanik, alas SiC, penyangga segitiga, pengisap SiC, dll
Bagian untuk pembentukan kaca	Pelat pemanas SiC, pelat perendaman SiC, cetakan SiC, selongsong cetakan SiC
Batu bata keramik antipeluru dan pelat keramik	Pelat insert antipeluru SSiC, potongan antipeluru SSiC, blok antipeluru SSiC
Komponen reflektor optik	Reflektor optik SSiC
Seri Kontrol Cairan	Cincin segel SSiC, nozzle SSiC, impeller SSiC, selongsong poros SSiC, batang pendorong SSiC
Bagian tahan suhu tinggi	Batang pembakar SSiC, balok persegi dan rol, wadah SSiC, selongsong pembakar SSiC, tabung tungku SSiC, tabung pelindung SSiC
Bagian tahan korosi kimia	Selongsong pelindung SSiC, nosel SSiC, kepala SSiC, lembar tabung penukar panas, blok bundel tabung SSiC, pelat penukar panas SSiC, tabung penukar panas SSiC, blok kontrol pertukaran panas SSiC, blok penukar panas SSiC, modul reaksi mikro
Bagian etsa tahan ion	Pembawa SSiC CMP, Pembawa SSiC ICP, Pembawa SSiC PVD, Pembawa SSiC RTA, Pembawa SSiC
Bagian yang tahan aus	Silinder gerinda SSiC, pipa tahan aus SSiC, bata tahan aus SSiC, pelat tahan aus SSiC, cincin penyegel SSiC, nosel sandblasting SSiC, nosel SSiC, bola gerinda SSiC, baut dan mur SSiC
Bantalan SSIC	Bantalan SSiC, bola bantalan keramik
Unit reaksi saluran mikro	Pelat reaksi SSiC, tabung reaksi SSiC, modul reaksi mikro SSiC
tabung SSIC	Tabung penukar panas, tabung keramik penukar panas
Lengan poros SSiC	Selongsong bantalan SSiC, bantalan keramik presisi SSiC, selongsong poros SSiC
Produk disesuaikan lainnya	Suku cadang SSiC yang disesuaikan, suku cadang keramik SSiC yang disesuaikan