Blok Keramik Silikon Nitrida, ubin, pelat, dll
Fitur
►Kekuatan tinggi: Kekuatan lentur sekitar dua kali lipat dari substrat AL2O3 dan ALN.
►Konduktivitas termal yang tinggi: Lebih dari 3 kali lebih tinggi dari substrat AL2O3.
►Ringan dan tipis: ketebalannya bisa mencapai 1/2 dari substrat AlN
►Ketahanan kejut termal yang sangat baik: koefisien muai panasnya mendekati silikon.
Barang | Satuan | Al2O3 | AIN | Si3N4 | |
Kepadatan | g/cm2 | 3.75 | 3.3 | 3.22 | |
Ketebalan | mm | 0,3175~1,0 | 0,4~2,5 | 0,238~0,635 | |
Tingkat kekasaran permukaan (Ra) | μm | 0,4 | 0,2 | 0,4 | |
Peralatan mekanis | kekuatan lentur | Mpa | 310~400 | 300~450 | 650 |
modulus Young | IPK | 330 | 320 | 310 | |
kekerasan Vickers | IPK | 14 | 11 | 15 | |
ketangguhan patah | Mpa.ml/2 | 3~4 | 2~4 | 5~7 | |
Koefisien ekspansi termal | 10 -6/K | 7.1~8.1 | 4.5~4.6 | 2.6 | |
Konduktivitas termal | W/(mK) | 20~30 | 160~255 | 60~120 | |
Panas spesifik | J/(kg/K) | 750 | 720 | 680 | |
Karakteristik listrik | konstanta dielektrik | / | 9~10 | 8~9 | 7~9 |
Tangen kerugian dielektrik | ...10-3 | 0,2 | 0,3 | 0,4 | |
resistivitas volume | Ω.m | >1012 | >1012 | >1012 | |
Tegangan rusak | kv/mm | >12 | >14 | >14 |