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セラミックターゲット
セラミックターゲット
セラミックターゲットは比較的脆いターゲットです。通常、セラミックターゲットはバッキングプレートとともに使用されます。スパッタリングプロセス中にセラミックターゲットを支持することに加えて、バッキングプレートは、スパッタリングプロセス中の熱伝達にも役割を果たすことができます。セラミックターゲットには多くの種類と幅広い用途があり、主にマイクロエレクトロニクス、ディスプレイ、ストレージなどの分野で使用されています。非金属薄膜産業の発展のための基本的な材料として、セラミック ターゲットは前例のない発展を遂げています。
