炭化ケイ素ベース
応用
►半導体製造工程におけるウエハーの搬送に使用されます。
►半導体製造では、極薄のウエハーを炭化ケイ素の真空吸着機に載せ、真空発生器に接続し、真空吸着により固定します。
►リソグラフィ、エッチング、レーザー加工、ウェーハ検出などのプロセスで使用できます。
特徴と利点
►正確なサイズと熱安定性、優れた熱伝導率、低膨張係数を備えています。
►高い比剛性と優れた熱均一性により、長期間の使用後に曲げや変形が容易ではありません。
►滑らかな表面と優れた耐摩耗性を備えているため、粒子汚染なしでチップを安全に処理できます。細孔径が小さく均一に分布しているため、ウェーハの各領域を均一に吸着できます。
►SSiC 炭化ケイ素の抵抗率は 106 ～ 108 Ω で、非磁性であり、ESD 仕様の要件を満たしています。チップ表面に静電気が溜まるのを防ぐことができます。
►耐酸・耐アルカリ性に優れる
►耐プラズマ衝撃性
仕様
Dさまざまな形とサイズ生産されるによると デザイン 図面。
SSiC製品の製品シリーズ
| SSiC製品カテゴリー | 一般的な製品名 |
| 半導体プロセスや光学機械装置の高精度部品 | SiCクリスタルボート、メカニカルアーム、SiCベース、三角支柱、SiC吸盤など |
| ガラス成形用部品 | SiC加熱プレート、SiC均熱プレート、SiCモールド、SiCモールドスリーブ |
| 防弾セラミックレンガとセラミックプレート | SSiC防弾インサートプレート、SSiC防弾ピース、SSiC防弾ブロック |
| 光学リフレクター部品 | SSiC 光学リフレクター |
| 流体制御シリーズ | SSiCシールリング、SSiCノズル、SSiCインペラー、SSiCシャフトスリーブ、SSiCプランジャーロッド |
| 耐熱部品 | SSiCバーニングロッド、スクエアビーム＆ローラー、SSiCルツボ、SSiCバーナースリーブ、SSiCファーネスチューブ、SSiC保護チューブ |
| 耐薬品性部品 | SSiC保護スリーブ、SSiCノズル、SSiCヘッド、熱交換器チューブシート、SSiCチューブバンドルブロック、SSiC熱交換プレート、SSiC熱交換チューブ、SSiC熱交換制御ブロック、SSiC熱交換ブロック、マイクロリアクションモジュール |
| 耐イオンエッチングパーツ | SSiC CMPキャリア、SSiC ICPキャリア、SSiC PVDキャリア、SSiC RTAキャリア、SSiCキャリア |
| 耐摩耗部品 | SSiC 研削シリンダー、SSiC 耐摩耗パイプ、SSiC 耐摩耗ブリック、SSiC 耐摩耗プレート、SSiC シール リング、SSiC サンドブラスト ノズル、SSiC ノズル、SSiC 研削ボール、SSiC ボルトおよびナット |
| SSiCベアリング | SSiCベアリング、セラミックベアリングボール |
| マイクロチャネル反応ユニット | SSiCリアクションプレート、SSiCリアクションチューブ、SSiCマイクロリアクションモジュール |
| SSiCチューブ | 熱交換器チューブ、熱交換器セラミックチューブ |
| SSiC シャフトスリーブ | SSiCベアリングスリーブ、SSiC精密セラミックベアリング、SSiCシャフトスリーブ |
| その他のカスタマイズ製品 | SSiCカスタマイズ部品、SSiCカスタマイズセラミック部品 |
ここにあなたのメッセージを書いて、私たちに送ってください
