簡単な説明：

SiC 製品は、高強度、高硬度、高弾性率などの室温での優れた機械的特性を備えています。また、高熱伝導率と低熱膨張係数などの優れた高温安定性と、良好な比剛性および光学処理性能。これは、精密可動ワークテーブル、フレームワーク、吸盤、水冷プレート、精密測定ミラー、格子、リソグラフィーマシンで使用されるその他のセラミック構造など、リソグラフィーマシンなどの集積回路機器用の精密セラミック構造の準備に特に適しています。長年の技術的ブレークスルーの後、KSINO は、大型、薄肉、中空構造、その他の複雑な SiC 構造部品などの精密機械加工と製品の問題を解決しました。これにより、精密炭化ケイ素構造部品の製造技術の技術的ボトルネックが解消されるだけでなく、集積回路製造装置の主要構造部品の国産化が大幅に促進されます。