실리콘 카바이드 베이스
애플리케이션
►반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 전송에 사용됩니다.
►반도체 제조에서는 매우 얇은 웨이퍼를 실리콘 카바이드 진공 흡입기에 놓고 진공 발생기에 연결하고 진공 흡입으로 고정합니다.
►리소그래피, 에칭, 레이저 가공, 웨이퍼 감지 및 기타 공정에 사용할 수 있습니다.
기능 및 장점
►그것은 정확한 크기와 열 안정성, 우수한 열전도율 및 낮은 팽창 계수를 가지고 있습니다.
►높은 비강성 및 우수한 열 균일성으로 장기간 사용 후에도 쉽게 구부러지거나 변형되지 않습니다.
►표면이 매끄럽고 내마모성이 우수하여 입자 오염 없이 칩을 안전하게 처리할 수 있습니다.기공 직경이 작고 고르게 분포되어 웨이퍼의 각 영역을 균일하게 흡착할 수 있습니다.
►SSiC 실리콘 카바이드의 저항률은 106-108Ω이며 비자성이며 ESD 사양의 요구 사항을 충족합니다.칩 표면에 정전기가 축적되는 것을 방지할 수 있습니다.
►우수한 산 및 알칼리 내식성
►플라즈마 충격 저항
사양
D서로 다른 모양과 크기생산된다~에 따르면 디자인 도면.
SSiC 제품의 제품 시리즈
| SSiC 제품 카테고리 | 일반적인 제품 이름 |
| 반도체 공정 및 광학 기계 장비용 고정밀 부품 | SiC 크리스탈 보트, 메카니컬 암, SiC 베이스, 삼각 지지대, SiC 빨판 등 |
| 유리 성형용 부품 | SiC 열판, SiC 담금판, SiC 몰드, SiC 몰드 슬리브 |
| 방탄 세라믹 벽돌 및 세라믹 플레이트 | SSiC 방탄 인서트 플레이트, SSiC 방탄 피스, SSiC 방탄 블록 |
| 광학 반사기 부품 | SSiC 광학 반사경 |
| 유체 제어 시리즈 | SSiC 밀봉 링, SSiC 노즐, SSiC 임펠러, SSiC 샤프트 슬리브, SSiC 플런저 로드 |
| 고온 내성 부품 | SSiC 연소 막대, 사각 빔 및 롤러, SSiC 도가니, SSiC 버너 슬리브, SSiC 용광로 튜브, SSiC 보호 튜브 |
| 내화학성 부품 | SSiC 보호 슬리브, SSiC 노즐, SSiC 헤드, 열교환기 튜브 시트, SSiC 튜브 번들 블록, SSiC 열교환 플레이트, SSiC 열교환 튜브, SSiC 열교환 제어 블록, SSiC 열교환 블록, 미세 반응 모듈 |
| 이온 저항성 에칭 부품 | SSiC CMP 캐리어, SSiC ICP 캐리어, SSiC PVD 캐리어, SSiC RTA 캐리어, SSiC 캐리어 |
| 내마모성 부품 | SSiC 그라인딩 실린더, SSiC 내마모성 파이프, SSiC 내마모성 벽돌, SSiC 내마모성 플레이트, SSiC 실링 링, SSiC 샌드블라스팅 노즐, SSiC 노즐, SSiC 그라인딩 볼, SSiC 볼트 및 너트 |
| SSiC 베어링 | SSiC 베어링, 세라믹 베어링 볼 |
| 마이크로채널 반응 장치 | SSiC 반응판, SSiC 반응관, SSiC 마이크로 반응 모듈 |
| SSiC 튜브 | 열교환기 튜브, 열교환기 세라믹 튜브 |
| SSiC 샤프트 슬리브 | SSiC 베어링 슬리브, SSiC 정밀 세라믹 베어링, SSiC 샤프트 슬리브 |
| 기타 맞춤형 제품 | SSiC 맞춤형 부품, SSiC 맞춤형 세라믹 부품 |
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