실리콘 카바이드 에칭 디스크 및 매니퓰레이터

간단한 설명:

SiC 제품은 상온에서 고강도, 고경도, 고탄성률 등 기계적 물성이 우수합니다. 광학 처리 성능.리소그래피 기계에 사용되는 정밀 이동 작업대, 프레임 워크, 흡입 컵, 수냉식 플레이트, 정밀 측정 거울, 격자 및 기타 세라믹 구조와 같은 리소그래피 기계와 같은 집적 회로 장비용 정밀 세라믹 구조를 준비하는 데 특히 적합합니다.수년간의 기술 혁신 끝에 KSINO는 대형, 얇은 두께, 중공 구조 및 기타 복잡한 SiC 구조 부품과 같은 정밀 가공 및 제품 문제를 해결했습니다.이는 정밀 실리콘 카바이드 구조 부품 제조 기술의 기술적 병목 현상을 극복할 뿐만 아니라 집적 회로 제조 장비의 핵심 구조 부품 국산화를 크게 촉진합니다.

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자주하는 질문

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애플리케이션

1. SiC 제품에는 주로 SSiC(Sintered Silicon Carbide), RBSC(Reaction Sintered Silicon Carbide) 및 CVD SiC(Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide)가 포함됩니다.

2. SiC 제품은 다양한 우수한 특성을 가지고 있습니다.

►초경도

►우수한 내마모성

►높은 열전도율 및 기계적 강도

►낮은 열팽창 계수

►우수한 열 안정성

►낮은 밀도

►특정 강성

►비자성

3. 현재 SiC 제품은 SiC 거울, 집적 회로 제조와 같은 고급 장비용 세라믹 부품, 극한 조건에서의 열 교환기, 방탄 재료 등과 같은 항공, 항공 우주, 원자력 산업 및 기타 산업에서 사용됩니다.

속성	SP-F		SP-K		SP-CT
밀도 g/cm3	2.98-3.02		3.16		3.1
영률 Gpa	368		440		393
굴곡 강도 Mpa	334		450		462
와이블	8.35		/		/
CTE(*10-6/℃)	100℃	2.8x10^-6	40-400℃	3.7x10^-6	25-1000℃	4.3x10^-6
	400℃	3.6x10^-6
	800℃	4.2x10^-6	40-800℃	4.4x10^-6
	1000℃	4.6x10^-6
열전도율 20℃(W/mk)	160-180		200		125
포아송비	0.187		0.17		0.2
전단 계수 Gpa	155		/		/