실리콘 질화물 세라믹 블록, 타일, 플레이트 등
특징
►고강도: 구부림 강도는 AL2O3 및 ALN 기판의 약 2배입니다.
►높은 열전도율: AL2O3 기판보다 3배 이상 높습니다.
►가볍고 얇음: 두께가 AlN 기판의 1/2에 달함
►우수한 내열충격성: 열팽창 계수가 실리콘에 가깝습니다.
안건 | 단위 | Al2O3 | 아인 | Si3N4 | |
밀도 | g/cm2 | 3.75 | 3.3 | 3.22 | |
두께 | mm | 0.3175~1.0 | 0.4~2.5 | 0.238~0.635 | |
표면 거칠기 수준(Ra) | μm | 0.4 | 0.2 | 0.4 | |
기계적 성질 | 굽힘 강도 | MPa | 310~400 | 300~450 | 650 |
영률 | GPA | 330 | 320 | 310 | |
비커스 경도 | GPA | 14 | 11 | 15 | |
파괴 인성 | Mpa.ml/2 | 3~4 | 2~4 | 5~7 | |
열팽창 계수 | 10-6/K | 7.1~8.1 | 4.5~4.6 | 2.6 | |
열 전도성 | W/(mK) | 20~30 | 160~255 | 60~120 | |
비열 | J/(kg/K) | 750 | 720 | 680 | |
전기적 특성 | 유전 상수 | / | 9~10 | 8~9 | 7~9 |
유전 손실 탄젠트 | ...10-3 | 0.2 | 0.3 | 0.4 | |
체적 저항률 | Ω.m | >1012 | >1012 | >1012 | |
항복 전압 | kv/mm | >12 | >14 | >14 |
여기에 메시지를 작성하여 보내주십시오.