-
Sasaran Seramik
Sasaran seramik
Sasaran seramik adalah sasaran yang agak rapuh.Biasanya, sasaran seramik digunakan bersama dengan plat belakang.Selain menyokong sasaran seramik semasa proses sputtering, plat belakang juga boleh memainkan peranan dalam pemindahan haba semasa proses sputtering.Terdapat banyak jenis sasaran seramik dan pelbagai aplikasi, terutamanya digunakan dalam bidang mikroelektronik, paparan, penyimpanan dan bidang lain.Sebagai bahan asas untuk pembangunan industri filem nipis bukan logam, sasaran seramik telah mencapai pembangunan yang tidak pernah berlaku sebelum ini.
