Asas silikon karbida
Permohonan
►Ia digunakan untuk penghantaran wafer dalam proses pembuatan semikonduktor.
►Dalam pembuatan semikonduktor, wafer yang sangat nipis diletakkan pada penyedut vakum silikon karbida, disambungkan kepada penjana vakum, dan ditetapkan dengan sedutan vakum.
►Ia boleh digunakan dalam litografi, etsa, pemprosesan laser, pengesanan wafer dan proses lain.
Ciri dan kelebihan
►Ia mempunyai saiz yang tepat dan kestabilan haba, kekonduksian haba yang baik dan pekali pengembangan yang rendah.
►Kekakuan spesifik yang tinggi dan keseragaman terma yang sangat baik, yang tidak mudah dibengkokkan dan berubah bentuk selepas penggunaan jangka panjang;
►Ia mempunyai permukaan licin dan rintangan haus yang baik, supaya dapat mengendalikan cip dengan selamat tanpa pencemaran zarah.Diameter liang adalah kecil dan teragih sama rata, dan setiap kawasan wafer boleh diserap secara seragam.
►Kerintangan silikon karbida SSiC ialah 106-108 Ω, dan ia bukan magnet, memenuhi keperluan spesifikasi ESD;Ia boleh menghalang elektrik statik daripada terkumpul pada permukaan cip.
►Rintangan kakisan asid dan alkali yang sangat baik
►Rintangan hentaman plasma
Spesifikasi
Dbentuk dan saiz yang berbezadihasilkanmengikut rekaan lukisan.
Siri produk produk SSiC
Kategori produk SSiC | Nama produk biasa |
Komponen berketepatan tinggi untuk proses semikonduktor dan peralatan mekanikal optik | Bot kristal SiC, lengan mekanikal, tapak SiC, sokongan segi tiga, penyedut SiC, dll |
Bahagian untuk membentuk kaca | Plat pemanas SiC, plat rendaman SiC, acuan SiC, lengan acuan SiC |
Batu bata seramik kalis peluru dan plat seramik | Plat sisipan kalis peluru SSiC, kepingan kalis peluru SSiC, blok kalis peluru SSiC |
Komponen pemantul optik | Reflektor optik SSiC |
Siri Kawalan Bendalir | Cincin pengedap SSiC, muncung SSiC, pendesak SSiC, lengan aci SSiC, rod pelocok SSiC |
Bahagian tahan suhu tinggi | Batang pembakaran SSiC, rasuk persegi dan penggelek, pijar SSiC, lengan penunu SSiC, tiub relau SSiC, tiub pelindung SSiC |
Bahagian tahan kakisan kimia | Lengan pelindung SSiC, muncung SSiC, kepala SSiC, kepingan tiub penukar haba, blok berkas tiub SSiC, plat penukar haba SSiC, tiub pertukaran haba SSiC, blok kawalan pertukaran haba SSiC, blok pertukaran haba SSiC, modul tindak balas mikro |
Bahagian goresan tahan ion | Pembawa SSiC CMP, pembawa SSiC ICP, pembawa SSiC PVD, pembawa SSiC RTA, pembawa SSiC |
Pakai bahagian tahan | Silinder pengisar SSiC, paip tahan haus SSiC, bata tahan haus SSiC, plat tahan haus SSiC, cincin pengedap SSiC, muncung letupan pasir SSiC, muncung SSiC, bola pengisar SSiC, bolt dan nat SSiC |
galas SSiC | Galas SSiC, bebola galas seramik |
Unit tindak balas saluran mikro | Plat tindak balas SSiC, tiub tindak balas SSiC, modul tindak balas mikro SSiC |
tiub SSiC | Tiub penukar haba, tiub seramik penukar haba |
Lengan aci SSiC | Lengan galas SSiC, galas seramik ketepatan SSiC, lengan aci SSiC |
Produk tersuai lain | Bahagian tersuai SSiC, bahagian seramik tersuai SSiC |