Blok, jubin, plat seramik Silicon Nitride, dll
ciri-ciri
►Kekuatan tinggi: Kekuatan lenturan adalah kira-kira dua kali ganda berbanding substrat AL2O3 dan ALN.
►Kekonduksian terma yang tinggi: Ia lebih daripada 3 kali lebih tinggi daripada substrat AL2O3.
►Ringan dan nipis: ketebalannya boleh mencapai 1/2 substrat AlN
►Rintangan kejutan haba yang sangat baik: pekali pengembangan habanya adalah hampir dengan silikon.
item | Unit | Al2O3 | AIN | Si3N4 | |
Ketumpatan | g/cm2 | 3.75 | 3.3 | 3.22 | |
Ketebalan | mm | 0.3175~1.0 | 0.4~2.5 | 0.238~0.635 | |
Tahap kekasaran permukaan (Ra) | μm | 0.4 | 0.2 | 0.4 | |
Sifat mekanikal | kekuatan lenturan | Mpa | 310~400 | 300~450 | 650 |
Modulus Young | Gpa | 330 | 320 | 310 | |
Kekerasan Vickers | Gpa | 14 | 11 | 15 | |
keliatan patah tulang | Mpa.ml/2 | 3~4 | 2~4 | 5~7 | |
Pekali pengembangan terma | 10 -6/K | 7.1~8.1 | 4.5~4.6 | 2.6 | |
Kekonduksian terma | W/(mK) | 20~30 | 160~255 | 60~120 | |
Haba tertentu | J/(kg/K) | 750 | 720 | 680 | |
Ciri-ciri elektrik | Pemalar dielektrik | / | 9~10 | 8~9 | 7~9 |
tangen kehilangan dielektrik | ...10-3 | 0.2 | 0.3 | 0.4 | |
Kerintangan isipadu | Ω.m | >1012 | >1012 | >1012 | |
Voltan kerosakan | kv/mm | >12 | >14 | >14 |