Alvo Cerâmico
Tipos de alvos cerâmicos e suas respectivas aplicações
De acordo com a aplicação, pode ser dividido em alvos cerâmicos relacionados a semicondutores, alvos cerâmicos de exibição, alvos cerâmicos de gravação magnética, alvos cerâmicos de gravação óptica, alvos cerâmicos supercondutores, alvos cerâmicos de magnetorresistência gigante, etc.
Alvos cerâmicos relacionados a semicondutores (HfO, SiO, Si3N4, MoSi, TaSi, WSi, TiSi, PLZT, ITO, usados principalmente em filmes dielétricos de porta. Filme de difusão, filme de barreira de difusão, filme isolante de capacitor, filme condutor transparente;
Exibir alvo de cerâmica ZnS—Mn, ZnS-Tb, ZnS-Sm, CaS-Eu, SrS-Ce, Si3N4, MgO
Alvo de cerâmica de gravação magnética Si3N4, usado principalmente na cabeça magnética, proteção de disco magneto-óptico (MO);
Ancinho de cerâmica de gravação óptica Si3N4, usado principalmente em filme protetor de disco óptico;
Alvos cerâmicos supercondutores YbaCuO, BiSrCaCuO, usados principalmente em filmes finos supercondutores;
Alvo cerâmico de magnetorresistência gigante, usado principalmente em janelas de células solares de filme fino;
Outros alvos de aplicação InO, LiNbO, BaTiO, PZT.ZnO, usado principalmente em células solares, filmes finos piezoelétricos
De acordo com a composição química, pode ser dividido em alvos de cerâmica de óxido, alvos de cerâmica de silicídio, alvos de cerâmica de nitreto, alvos de cerâmica de flúor e alvos de cerâmica de sulfeto, etc. Entre eles, o alvo de cerâmica ITO de tela plana foi amplamente produzido e aplicado na China ..Alvos cerâmicos para filmes isolantes de alto dielétrico e alvos cerâmicos de magnetorresistência gigante têm amplas perspectivas de aplicação.
Exemplo
Os alvos de pulverização catódica de cerâmica de óxido são os alvos mais comuns entre os alvos de pulverização catódica avançados de cerâmica.As cerâmicas de óxido podem ser feitas por sinterização a altas temperaturas, com um ou mais óxidos como constituinte principal e outros óxidos menores como aditivos.Eles são divididos em cerâmicas de óxido simples e cerâmicas de óxido complexas.Alvos de pulverização catódica comuns desse tipo incluem óxido de alumínio (Al2O3), óxido de magnésio (MgO), óxido de berílio (BeO), óxido de zircônio (ZrO2) e outros.A maioria das cerâmicas de óxido tem pontos de fusão elevados, excelente isolamento, resistência térmica, propriedades antioxidantes e anticorrosivas.Portanto, eles podem ser expostos a altas temperaturas e ambientes oxidantes por um longo período de tempo e são dignos de ampla aplicação no campo da engenharia.