Base de carboneto de silício
Inscrição
►É usado para a transmissão de wafers em processos de fabricação de semicondutores.
►Na fabricação de semicondutores, um wafer extremamente fino é colocado em um aspirador de carboneto de silício, conectado a um gerador de vácuo e fixado por sucção a vácuo.
►Pode ser usado em litografia, gravação, processamento a laser, detecção de wafer e outros processos.
Características e vantagens
►Possui tamanho preciso e estabilidade térmica, boa condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão.
►Alta rigidez específica e excelente uniformidade térmica, que não é fácil de dobrar e deformar após uso prolongado;
►Possui superfície lisa e boa resistência ao desgaste, de modo a manusear o chip com segurança sem poluição por partículas.O diâmetro dos poros é pequeno e distribuído uniformemente, e cada área do wafer pode ser adsorvida uniformemente.
►A resistividade do carboneto de silício SSiC é de 106-108 Ω e não é magnética, atendendo aos requisitos das especificações ESD;Pode evitar que a eletricidade estática se acumule na superfície do chip.
►Excelente resistência à corrosão ácida e alcalina
►Resistência ao impacto de plasma
Especificação
Dformas e tamanhos diferentessão produzidosde acordo com o design desenhos.
Série de produtos SSiC
| categoria de produto SSiC | Nomes de produtos comuns |
| Componentes de alta precisão para processos de semicondutores e equipamentos óptico-mecânicos | Barco cristal SiC, braço mecânico, base SiC, suporte triangular, ventosa SiC, etc |
| Peças para conformação de vidro | Placa de aquecimento de SiC, placa de imersão de SiC, molde de SiC, manga de molde de SiC |
| Tijolos de cerâmica à prova de balas e placas de cerâmica | Placa de inserção à prova de balas SSiC, peça à prova de balas SSiC, bloco à prova de balas SSiC |
| Componentes do refletor óptico | SSiC refletor óptico |
| Série de controle de fluido | Anel de vedação SSiC, bocal SSiC, impulsor SSiC, luva do eixo SSiC, haste do êmbolo SSiC |
| Peças resistentes a altas temperaturas | Haste de queima SSiC, feixe quadrado e rolo, cadinho SSiC, manga do queimador SSiC, tubo de forno SSiC, tubo de proteção SSiC |
| Peças resistentes à corrosão química | Manga protetora SSiC, bocal SSiC, cabeçote SSiC, folha de tubo de trocador de calor, bloco de feixe de tubos SSiC, placa de troca de calor SSiC, tubo de troca de calor SSiC, bloco de controle de troca de calor SSiC, bloco de troca de calor SSiC, módulo de micro reação |
| Peças de corrosão resistentes a íons | SSiC CMP portador, SSiC ICP portador, SSiC PVD portador, SSiC RTA portador, SSiC portador |
| Peças resistentes ao desgaste | Cilindro de moagem SSiC, tubo resistente ao desgaste SSiC, tijolo resistente ao desgaste SSiC, placa resistente ao desgaste SSiC, anel de vedação SSiC, bico de jateamento SSiC, bico SSiC, esfera de moagem SSiC, parafuso e porca SSiC |
| Rolamento SSiC | Rolamento SSiC, esfera de rolamento de cerâmica |
| Unidade de reação de microcanal | Placa de reação SSiC, tubo de reação SSiC, módulo de micro reação SSiC |
| Tubo SSiC | Tubo trocador de calor, tubo cerâmico trocador de calor |
| manga do eixo SSiC | Bucha do rolamento SSiC, rolamento cerâmico de precisão SSiC, luva do eixo SSiC |
| Outros produtos personalizados | Peças personalizadas SSiC, peças cerâmicas personalizadas SSiC |
