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Estrutura de trilho de carboneto de silício

Pequena descrição:

Os produtos SiC têm excelentes propriedades mecânicas à temperatura ambiente, como alta resistência, alta dureza, alto módulo de elasticidade, etc. Também possui excelente estabilidade em altas temperaturas, como alta condutividade térmica e baixo coeficiente de expansão térmica, bem como boa rigidez específica e desempenho de processamento óptico.É especialmente adequado para preparar estruturas de cerâmica de precisão para equipamentos de circuito integrado, como máquina de litografia, como mesa de trabalho móvel de precisão, estrutura, ventosa, placa resfriada a água, espelho de medição de precisão, grade e outras estruturas de cerâmica usadas em máquina de litografia.Após anos de avanço técnico, a KSINO resolveu o problema de usinagem e produtos de precisão, como tamanho grande, espessura fina, estrutura oca e outras peças estruturais complexas de SiC.Isso não apenas rompe o gargalo técnico da tecnologia de fabricação de peças estruturais de carboneto de silício de precisão, mas também promove muito a localização de peças estruturais importantes para equipamentos de fabricação de circuitos integrados.


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1. Os produtos SiC incluem principalmente carboneto de silício sinterizado (SSiC), carboneto de silício sinterizado por reação (RBSC) e carboneto de silício por deposição química de vapor (CVD SiC).

2. O produto SiC tem várias propriedades excelentes:

Superdureza

Excelente resistência ao desgaste

Alta condutividade térmica e resistência mecânica

Baixo coeficiente de expansão térmica

Excelente estabilidade térmica

Densidade baixa

Rigidez específica

não magnético

3. Atualmente, os produtos SiC são usados ​​na aviação, aeroespacial, indústria nuclear e outras indústrias, como espelhos SiC, peças de cerâmica para equipamentos de ponta, como fabricação de circuitos integrados, trocadores de calor sob condições extremas, materiais à prova de balas, etc.

Propriedades

SP-F

SP-K

SP-CT

Densidade g/cm3

2.98-3.02

3.16

3.1

Módulo de Young Gpa

368

440

393

Resistência à Flexão MPa

334

450

462

weibull

8.35

/

/

CTE(*10-6/℃)

100℃

2,8x10-6

40-400 ℃

3,7x10-6

25-1000 ℃

4,3x10-6

400℃

3,6x10-6

800℃

4,2x10-6

40-800 ℃

4,4x10-6

1000 ℃

4,6x10-6

Condutividade Térmica 20℃ (W/mk)

160-180

200

125

Razão de Poisson

0,187

0,17

0,2

Módulo de Cisalhamento Gpa

155

/

/

 


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