Blocos cerâmicos de nitreto de silício, ladrilhos, placas, etc
Recursos
►Alta resistência: A resistência à flexão é cerca do dobro da dos substratos AL2O3 e ALN.
►Alta condutividade térmica: É mais de 3 vezes maior que o substrato AL2O3.
►Leve e fino: sua espessura pode chegar a 1/2 do substrato AlN
►Excelente resistência ao choque térmico: seu coeficiente de expansão térmica é próximo ao do silício.
Item | Unidade | Al2O3 | AIN | Si3N4 | |
Densidade | g/cm2 | 3,75 | 3.3 | 3.22 | |
Grossura | mm | 0,3175~1,0 | 0,4~2,5 | 0,238~0,635 | |
Nível de rugosidade da superfície (Ra) | μm | 0,4 | 0,2 | 0,4 | |
Propriedades mecânicas | resistência à flexão | Mpa | 310~400 | 300~450 | 650 |
módulo de Young | Gpa | 330 | 320 | 310 | |
Dureza Vickers | Gpa | 14 | 11 | 15 | |
tenacidade à fratura | Mpa.ml/2 | 3~4 | 2~4 | 5~7 | |
Coeficiente de expansão térmica | 10 -6/K | 7.1~8.1 | 4,5~4,6 | 2.6 | |
Condutividade térmica | W/(mK) | 20~30 | 160~255 | 60~120 | |
Calor específico | J/(kg/K) | 750 | 720 | 680 | |
Características elétricas | Constante dielétrica | / | 9~10 | 8~9 | 7~9 |
Tangente de perda dielétrica | ...10-3 | 0,2 | 0,3 | 0,4 | |
Resistividade volumétrica | Ω.m | >1012 | >1012 | >1012 | |
Queda de tensão | kv/mm | >12 | >14 | >14 |