Керамическая мишень
Типы керамических мишеней и их применение
В соответствии с заявкой его можно разделить на керамические мишени, связанные с полупроводниками, керамические мишени для отображения, керамические мишени с магнитной записью, керамические мишени с оптической записью, сверхпроводящие керамические мишени, керамические мишени с гигантским магнитосопротивлением и т. Д.
Керамические мишени, связанные с полупроводниками (HfO, SiO, Si3N4, MoSi, TaSi, WSi, TiSi, PLZT, ITO, в основном используемые в диэлектрических пленках затвора. Диффузионная пленка, пленка диффузионного барьера, пленка для изоляции конденсаторов, прозрачная проводящая пленка;
Дисплей керамическая мишень ZnS—Mn, ZnS-Tb, ZnS-Sm, CaS-Eu, SrS-Ce, Si3N4, MgO
Магнитная записывающая керамическая мишень Si3N4, в основном используемая в магнитной головке, защите магнитооптического диска (МО);
Керамическая рейка Si3N4 для оптической записи, в основном используемая в защитной пленке для оптических дисков;
Сверхпроводящие керамические мишени YbaCuO, BiSrCaCuO, в основном используемые в сверхпроводящих тонких пленках;
Гигантская керамическая мишень с магнитосопротивлением, в основном используемая в тонкопленочных окнах солнечных элементов;
Другие приложения нацелены на InO, LiNbO, BaTiO, PZT.ZnO, в основном используемый в солнечных элементах, пьезоэлектрических тонких пленках
По химическому составу его можно разделить на мишени из оксидной керамики, мишени из силицидной керамики, мишени из нитридной керамики, мишени из фторидной керамики, мишени из сульфидной керамики и т. д. Среди них керамические мишени ITO с плоским дисплеем широко производятся и применяются в Китае. ..Керамические мишени для высокодиэлектрических изолирующих пленок и керамические мишени с гигантским магнитосопротивлением имеют широкие перспективы применения.
Пример
Мишени для распыления оксидной керамики являются наиболее распространенными мишенями среди современных мишеней для распыления керамики.Оксидная керамика может быть изготовлена путем спекания при высоких температурах с одним или несколькими оксидами в качестве основного компонента и другими второстепенными оксидами в качестве добавок.Они делятся на простые оксидные керамики и сложные оксидные керамики.Общие мишени для распыления этого типа включают оксид алюминия (Al2O3), оксид магния (MgO), оксид бериллия (BeO), оксид циркония (ZrO2) и другие.Большинство оксидных керамических материалов имеют высокие температуры плавления, отличные изоляционные, термические, антиокислительные и коррозионные свойства.Поэтому они могут длительное время подвергаться воздействию высоких температур и окислительной среды и заслуживают широкого применения в машиностроении.