Основа из карбида кремния
Применение
►Он используется для передачи пластин в процессах производства полупроводников.
►В производстве полупроводников очень тонкая пластина помещается на вакуумную присоску из карбида кремния, которая соединяется с генератором вакуума и фиксируется с помощью вакуумной присоски.
►Его можно использовать в литографии, травлении, лазерной обработке, обнаружении пластин и других процессах.
Особенности и преимущества
►Он имеет точный размер и термическую стабильность, хорошую теплопроводность и низкий коэффициент расширения.
►Высокая удельная жесткость и отличная термическая однородность, которую нелегко согнуть и деформировать после длительного использования;
►Он имеет гладкую поверхность и хорошую износостойкость, что позволяет безопасно обрабатывать стружку без загрязнения частицами.Диаметр пор небольшой и равномерно распределен, и каждая область пластины может быть равномерно адсорбирована.
►Удельное сопротивление карбида кремния SSiC составляет 106-108 Ом, он немагнитен и соответствует требованиям спецификаций ESD;Это может предотвратить накопление статического электричества на поверхности чипа.
►Превосходная стойкость к кислотной и щелочной коррозии
►Устойчивость к плазменному удару
Спецификация
Dразные формы и размерыпроизводятсясогласно с дизайн рисунки.
Серия продуктов SSiC
| Категория продукта SSiC | Общие названия продуктов |
| Высокоточные компоненты для полупроводникового технологического и оптико-механического оборудования | Кристаллическая лодочка из карбида кремния, механическая рука, основание из карбида кремния, треугольная опора, присоска из карбида кремния и т. д. |
| Детали для формовки стекла | Нагревательная плита из карбида кремния, пластина для пропитывания карбида кремния, форма из карбида кремния, втулка формы из карбида кремния |
| Пуленепробиваемые керамические кирпичи и керамические плиты | Пуленепробиваемая вставная пластина SSiC, пуленепробиваемая деталь SSiC, пуленепробиваемый блок SSiC |
| Компоненты оптического отражателя | оптический рефлектор SSiC |
| Серия контроля жидкости | Уплотнительное кольцо из нержавеющей стали, сопло из нержавеющей стали, рабочее колесо из нержавеющей стали, втулка вала из нержавеющей стали, шток плунжера из нержавеющей стали. |
| Детали, устойчивые к высоким температурам | Горящий стержень из нержавеющей стали, квадратная балка и ролик, тигель из нержавеющей стали, втулка горелки из нержавеющей стали, труба печи из нержавеющей стали, защитная трубка из нержавеющей стали |
| Детали, устойчивые к химической коррозии | Защитная втулка SSiC, сопло SSiC, головка SSiC, трубная решетка теплообменника, блок пучка труб SSiC, теплообменная пластина SSiC, теплообменная трубка SSiC, блок управления теплообменником SSiC, блок теплообменника SSiC, микрореакционный модуль |
| Ионостойкие травильные детали | Носитель SSiC CMP, носитель SSiC ICP, носитель SSiC PVD, носитель SSiC RTA, носитель SSiC |
| Износостойкие детали | Шлифовальный цилиндр SSiC, износостойкая труба SSiC, износостойкий кирпич SSiC, износостойкая пластина SSiC, уплотнительное кольцо SSiC, сопло для пескоструйной обработки SSiC, сопло SSiC, мелющий шар SSiC, болт и гайка SSiC |
| подшипник SSiC | Подшипник SSiC, шариковый керамический подшипник |
| Микроканальный реакционный блок | Реакционная пластина SSiC, реакционная пробирка SSiC, микрореакционный модуль SSiC |
| трубка SSiC | Трубка теплообменника, керамическая трубка теплообменника |
| втулка вала SSiC | Втулка подшипника SSiC, прецизионный керамический подшипник SSiC, втулка вала SSiC |
| Другие индивидуальные продукты | Детали по индивидуальному заказу SSiC, керамические детали по индивидуальному заказу SSiC |
