Краткое описание:

Изделия из карбида кремния обладают превосходными механическими свойствами при комнатной температуре, такими как высокая прочность, высокая твердость, высокий модуль упругости и т. д. Они также обладают превосходной стабильностью при высоких температурах, например, высокой теплопроводностью и низким коэффициентом теплового расширения, а также хорошей удельной жесткостью и производительность оптической обработки.Он особенно подходит для изготовления прецизионных керамических структур для оборудования с интегральной схемой, такого как литографическая машина, такого как прецизионный подвижный рабочий стол, каркас, присоска, пластина с водяным охлаждением, прецизионное измерительное зеркало, решетка и другие керамические структуры, используемые в литографической машине.После многих лет технического прорыва KSINO решила проблему точной обработки и изделий, таких как большие размеры, малая толщина, полая структура и другие сложные конструкционные детали из карбида кремния.Это не только устраняет технические узкие места в технологии производства прецизионных конструкционных деталей из карбида кремния, но также значительно способствует локализации ключевых структурных частей для оборудования для производства интегральных схем.