Нитрид кремния Керамические блоки, плитка, плиты и т.д.
Функции
►Высокая прочность: прочность на изгиб примерно в два раза выше, чем у подложек AL2O3 и ALN.
►Высокая теплопроводность: более чем в 3 раза выше, чем у подложки AL2O3.
►Легкий и тонкий: его толщина может достигать 1/2 от подложки AlN
►Превосходная термостойкость: его коэффициент теплового расширения близок к коэффициенту кремния.
Предмет | Ед. изм | Al2O3 | АЙН | Si3N4 | |
Плотность | г/см2 | 3,75 | 3.3 | 3,22 | |
Толщина | mm | 0,3175~1,0 | 0,4~2,5 | 0,238~0,635 | |
Уровень шероховатости поверхности (Ra) | мкм | 0,4 | 0,2 | 0,4 | |
Механические свойства | прочность на изгиб | МПа | 310~400 | 300~450 | 650 |
Модуль для младших | ГПа | 330 | 320 | 310 | |
твердость по Виккерсу | ГПа | 14 | 11 | 15 | |
трещиностойкость | МПа.мл/2 | 3~4 | 2~4 | 5~7 | |
Коэффициент теплового расширения | 10 -6/К | 7.1~8.1 | 4,5~4,6 | 2,6 | |
Теплопроводность | Вт/(мК) | 20~30 | 160~255 | 60~120 | |
Удельная теплоемкость | Дж/(кг/К) | 750 | 720 | 680 | |
Электрические характеристики | Диэлектрическая постоянная | / | 9~10 | 8~9 | 7~9 |
Тангенс угла диэлектрических потерь | ...10-3 | 0,2 | 0,3 | 0,4 | |
Объемное сопротивление | Ом.м | >1012 | >1012 | >1012 | |
Напряжение пробоя | кв/мм | >12 | >14 | >14 |