Vitalu vya kauri ya Silicon Nitridi, tiles, sahani, nk
Vipengele
►Nguvu ya juu: Nguvu ya kupinda ni takriban mara mbili ya ile ya AL2O3 na ALN substrates.
►Uendeshaji wa juu wa mafuta: Ni zaidi ya mara 3 zaidi ya substrate ya AL2O3.
►Mwanga na nyembamba: unene wake unaweza kufikia 1/2 ya substrate ya AlN
►Upinzani bora wa mshtuko wa joto: mgawo wake wa upanuzi wa joto ni karibu na ule wa silicon.
Kipengee | Kitengo | Al2O3 | AIN | Si3N4 | |
Msongamano | g/cm2 | 3.75 | 3.3 | 3.22 | |
Unene | mm | 0.3175~1.0 | 0.4~2.5 | 0.238~0.635 | |
Kiwango cha ukali wa uso (Ra) | μm | 0.4 | 0.2 | 0.4 | |
Mali ya mitambo | nguvu ya kupiga | Mpa | 310-400 | 300-450 | 650 |
Moduli ya vijana | Gpa | 330 | 320 | 310 | |
Ugumu wa Vickers | Gpa | 14 | 11 | 15 | |
ugumu wa fracture | Mpa.ml/2 | 3 ~ 4 | 2 ~ 4 | 5 ~ 7 | |
Mgawo wa upanuzi wa joto | 10 -6/K | 7.1~8.1 | 4.5~4.6 | 2.6 | |
Conductivity ya joto | W/(mK) | 20-30 | 160~255 | 60-120 | |
Joto maalum | J/(kg/K) | 750 | 720 | 680 | |
Tabia za umeme | Dielectric mara kwa mara | / | 9-10 | 8-9 | 7 ~ 9 |
Tangent ya kupoteza dielectric | ...10-3 | 0.2 | 0.3 | 0.4 | |
Upinzani wa kiasi | Ω.m | >1012 | >1012 | >1012 | |
Voltage ya kuvunjika | kv/mm | >12 | >14 | >14 |