เป้าหมายเซรามิก
ประเภทของชิ้นงานเซรามิกและการใช้งานที่เกี่ยวข้อง
ตามการใช้งาน มันสามารถแบ่งออกเป็นเป้าหมายเซรามิกที่เกี่ยวข้องกับเซมิคอนดักเตอร์, เป้าหมายเซรามิกแสดงผล, เป้าหมายเซรามิกการบันทึกแม่เหล็ก, เป้าหมายเซรามิกการบันทึกด้วยแสง, เป้าหมายเซรามิกตัวนำยิ่งยวด, เป้าหมายเซรามิกความต้านทานสนามแม่เหล็กยักษ์ ฯลฯ
เป้าหมายเซรามิกที่เกี่ยวข้องกับเซมิคอนดักเตอร์ (HfO, SiO, Si3N4, MoSi, TaSi, WSi, TiSi, PLZT, ITO ส่วนใหญ่ใช้ในฟิล์มไดอิเล็กตริกเกต ฟิล์มแพร่ ฟิล์มกั้นการแพร่กระจาย ฟิล์มฉนวนตัวเก็บประจุ ฟิล์มนำไฟฟ้าโปร่งใส
แสดงเป้าหมายเซรามิก ZnS—Mn, ZnS-Tb, ZnS-Sm, CaS-Eu, SrS-Ce, Si3N4, MgO
เป้าหมายเซรามิกบันทึกแม่เหล็ก Si3N4 ส่วนใหญ่ใช้ในหัวแม่เหล็ก, การป้องกันดิสก์แม๊กออปติคัล (MO);
คราดเซรามิกบันทึกแสง Si3N4 ส่วนใหญ่ใช้ในฟิล์มป้องกันแผ่นดิสก์ออปติคัล
เซรามิกตัวนำยิ่งยวดเป้าหมาย YbaCuO, BiSrCaCuO ส่วนใหญ่ใช้ในฟิล์มบางตัวนำยิ่งยวด
เป้าหมายเซรามิกที่มีความต้านทานสนามแม่เหล็กขนาดใหญ่ ส่วนใหญ่ใช้ในหน้าต่างเซลล์แสงอาทิตย์แบบฟิล์มบาง
แอพพลิเคชันอื่นๆ มีเป้าหมายที่ InO, LiNbO, BaTiO, PZTZnO ส่วนใหญ่ใช้ในเซลล์แสงอาทิตย์ ฟิล์มบางแบบเพียโซอิเล็กทริก
ตามองค์ประกอบทางเคมี มันสามารถแบ่งออกเป็นเป้าหมายเซรามิกออกไซด์ เป้าหมายเซรามิกซิลิไซด์ เป้าหมายเซรามิกไนไตรด์ เป้าหมายเซรามิกฟลูออไรด์ และเป้าหมายเซรามิกซัลไฟด์ ฯลฯ ในหมู่พวกเขา เป้าหมายเซรามิก ITO แบบจอแสดงผลแบนได้รับการผลิตอย่างกว้างขวางและนำไปใช้ในประเทศจีน ..เป้าหมายเซรามิกสำหรับฟิล์มฉนวนอิเล็กทริกสูงและเป้าหมายเซรามิกที่มีความต้านทานต่อสนามแม่เหล็กสูงมีโอกาสในการใช้งานที่กว้างขวาง
ตัวอย่าง
เป้าหมายการสปัตเตอร์เซรามิกออกไซด์เป็นเป้าหมายที่พบบ่อยที่สุดในบรรดาเป้าหมายการสปัตเตอร์เซรามิกขั้นสูงเซรามิกออกไซด์สามารถทำได้โดยการเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง โดยมีออกไซด์หนึ่งตัวหรือมากกว่าเป็นองค์ประกอบหลักและออกไซด์รองอื่นๆ เป็นสารเติมแต่งแบ่งออกเป็นเซรามิกออกไซด์อย่างง่ายและเซรามิกออกไซด์ที่ซับซ้อนเป้าหมายของการสปัตเตอร์ทั่วไปประเภทนี้ ได้แก่ อะลูมิเนียมออกไซด์ (Al2O3), แมกนีเซียมออกไซด์ (MgO), เบริลเลียมออกไซด์ (BeO), เซอร์โคเนียมออกไซด์ (ZrO2) และอื่นๆเซรามิกออกไซด์ส่วนใหญ่มีจุดหลอมเหลวสูง ความเป็นฉนวนที่ดีเยี่ยม ความแข็งแรงทางความร้อน สารต้านอนุมูลอิสระ และคุณสมบัติการกัดกร่อนดังนั้นจึงสามารถสัมผัสกับอุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมออกซิไดซ์ได้เป็นเวลานาน และคุ้มค่ากับการใช้งานอย่างกว้างขวางในด้านวิศวกรรม