ฐานซิลิกอนคาร์ไบด์
แอปพลิเคชัน
►ใช้สำหรับการส่งเวเฟอร์ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
►ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แผ่นเวเฟอร์ที่บางมากจะถูกวางบนตัวดูดสุญญากาศซิลิกอนคาร์ไบด์ เชื่อมต่อกับเครื่องกำเนิดสุญญากาศ และยึดด้วยการดูดสุญญากาศ
►สามารถใช้ในการพิมพ์หิน การแกะสลัก การประมวลผลด้วยเลเซอร์ การตรวจจับแผ่นเวเฟอร์ และกระบวนการอื่นๆ
คุณสมบัติและข้อดี
►มีขนาดที่ถูกต้องและมีเสถียรภาพทางความร้อน การนำความร้อนที่ดีและค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวต่ำ
►ความแข็งเฉพาะสูงและความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ดีเยี่ยม ซึ่งไม่ง่ายที่จะงอและทำให้เสียรูปหลังจากใช้งานในระยะยาว
►มีพื้นผิวที่เรียบและทนทานต่อการสึกหรอได้ดี จึงสามารถจัดการกับชิปได้อย่างปลอดภัยโดยไม่มีมลพิษจากอนุภาคเส้นผ่านศูนย์กลางของรูพรุนมีขนาดเล็กและกระจายอย่างสม่ำเสมอ และแต่ละพื้นที่ของแผ่นเวเฟอร์สามารถดูดซับได้อย่างสม่ำเสมอ
►ความต้านทานของซิลิกอนคาร์ไบด์ SSiC คือ 106-108 Ω และไม่เป็นแม่เหล็ก ซึ่งเป็นไปตามข้อกำหนดของข้อกำหนด ESDสามารถป้องกันไฟฟ้าสถิตสะสมบนพื้นผิวชิปได้
►ทนต่อการกัดกร่อนของกรดและด่างได้ดีเยี่ยม
►ทนต่อแรงกระแทกของพลาสมา
ข้อมูลจำเพาะ
Dรูปร่างและขนาดที่แตกต่างกันมีการผลิตตาม การออกแบบ ภาพวาด
ชุดผลิตภัณฑ์ของผลิตภัณฑ์ SSiC
| หมวดหมู่ผลิตภัณฑ์ SSiC | ชื่อผลิตภัณฑ์ทั่วไป |
| ส่วนประกอบที่มีความแม่นยำสูงสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์เชิงกลเชิงแสง | เรือคริสตัล SiC, แขนกล, ฐาน SiC, ส่วนรองรับรูปสามเหลี่ยม, ตัวดูด SiC ฯลฯ |
| ชิ้นส่วนสำหรับการขึ้นรูปแก้ว | แผ่นทำความร้อน SiC, แผ่นแช่ SiC, แม่พิมพ์ SiC, ปลอกแม่พิมพ์ SiC |
| อิฐเซรามิกกันกระสุนและแผ่นเซรามิก | แผ่นกันกระสุน SSiC, ชิ้นส่วนกันกระสุน SSiC, บล็อกกันกระสุน SSiC |
| ส่วนประกอบตัวสะท้อนแสง | ตัวสะท้อนแสง SSiC |
| ชุดควบคุมของไหล | แหวนซีล SSiC, หัวฉีด SSiC, ใบพัด SSiC, ปลอกเพลา SSiC, แกนลูกสูบ SSiC |
| ชิ้นส่วนที่ทนต่ออุณหภูมิสูง | แท่งเผาไหม้ SSiC, คานสี่เหลี่ยมและลูกกลิ้ง, ถ้วยใส่ตัวอย่าง SSiC, ปลอกหัวเผา SSiC, ท่อเตาเผา SSiC, ท่อป้องกัน SSiC |
| ชิ้นส่วนที่ทนต่อการกัดกร่อนของสารเคมี | ปลอกป้องกัน SSiC, หัวฉีด SSiC, หัว SSiC, แผ่นท่อแลกเปลี่ยนความร้อน, บล็อกมัดท่อ SSiC, แผ่นแลกเปลี่ยนความร้อน SSiC, ท่อแลกเปลี่ยนความร้อน SSiC, บล็อกควบคุมการแลกเปลี่ยนความร้อน SSiC, บล็อกแลกเปลี่ยนความร้อน SSiC, โมดูลปฏิกิริยาขนาดเล็ก |
| ชิ้นส่วนกัดกรดที่ทนต่อไอออน | ผู้ให้บริการ SSiC CMP, ผู้ให้บริการ SSiC ICP, ผู้ให้บริการ SSiC PVD, ผู้ให้บริการ SSiC RTA, ผู้ให้บริการ SSiC |
| สวมชิ้นส่วนที่ทนทาน | กระบอกเจียร SSiC, ท่อกันสึก SSiC, อิฐทนสึก SSiC, แผ่นกันสึก SSiC, แหวนซีล SSiC, หัวพ่นทราย SSiC, หัวพ่น SSiC, ลูกเจียร SSiC, สลักเกลียวและน็อต SSiC |
| แบริ่ง SSiC | ตลับลูกปืน SSiC ตลับลูกปืนเซรามิก |
| หน่วยปฏิกิริยาไมโครแชนเนล | แผ่นปฏิกิริยา SSiC, ท่อปฏิกิริยา SSiC, โมดูลปฏิกิริยาขนาดเล็ก SSiC |
| หลอด SSiC | ท่อแลกเปลี่ยนความร้อน, ท่อเซรามิกแลกเปลี่ยนความร้อน |
| ปลอกเพลา SSiC | ปลอกตลับลูกปืน SSiC, ตลับลูกปืนเซรามิกความแม่นยำ SSiC, ปลอกเพลา SSiC |
| ผลิตภัณฑ์ที่กำหนดเองอื่น ๆ | ชิ้นส่วนปรับแต่ง SSiC, ชิ้นส่วนเซรามิกปรับแต่ง SSiC |
