ซิลิคอนไนไตรด์ บล็อกเซรามิก กระเบื้อง จาน ฯลฯ
คุณสมบัติ
►ความแข็งแรงสูง: แรงดัดเป็นสองเท่าของวัสดุพิมพ์ AL2O3 และ ALN
►การนำความร้อนสูง: สูงกว่าพื้นผิว AL2O3 มากกว่า 3 เท่า
►เบาและบาง: มีความหนาถึง 1/2 ของพื้นผิว AlN
►ต้านทานแรงกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยม: ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนใกล้เคียงกับซิลิกอน
สิ่งของ | หน่วย | อัลทูโอ3 | เอไอเอ็น | Si3N4 | |
ความหนาแน่น | กรัม/ซม.2 | 3.75 | 3.3 | 3.22 | |
ความหนา | mm | 0.3175~1.0 | 0.4~2.5 | 0.238~0.635 | |
ระดับความหยาบผิว (Ra) | มม | 0.4 | 0.2 | 0.4 | |
คุณสมบัติทางกล | กำลังดัด | เอ็มปา | 310~400 | 300~450 | 650 |
โมดูลัสของ Young | เกรดเฉลี่ย | 330 | 320 | 310 | |
ความแข็งของวิคเกอร์ | เกรดเฉลี่ย | 14 | 11 | 15 | |
ความเหนียวแตกหัก | Mpa.ml/2 | 3~4 | 2~4 | 5~7 | |
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน | 10 -6/พ | 7.1~8.1 | 4.5~4.6 | 2.6 | |
การนำความร้อน | W/(mK) | 20~30 | 160~255 | 60~120 | |
ความร้อนจำเพาะ | J/(กก./K) | 750 | 720 | 680 | |
ลักษณะไฟฟ้า | ค่าคงที่ไดอิเล็กตริก | / | 9~10 | 8~9 | 7~9 |
แทนเจนต์การสูญเสียไดอิเล็กตริก | ...10-3 | 0.2 | 0.3 | 0.4 | |
ความต้านทานต่อปริมาตร | Ω.m | >1012 | >1012 | >1012 | |
แรงดันพังทลาย | กิโลโวลต์/มม | >12 | >14 | >14 |