Seramik Hedef
Seramik hedef türleri ve ilgili uygulamaları
Uygulamaya göre, yarı iletken ile ilgili seramik hedefler, ekran seramik hedefler, manyetik kayıt seramik hedefler, optik kayıt seramik hedefler, süper iletken seramik hedefler, dev manyetoresistance seramik hedefler vb. olarak ayrılabilir.
Yarı iletkenle ilgili seramik hedefler (HfO, SiO, Si3N4, MoSi, TaSi, WSi, TiSi, PLZT, ITO, esas olarak geçit dielektrik filmlerinde kullanılır. Difüzyon filmi, difüzyon bariyeri filmi, kapasitör yalıtım filmi, şeffaf iletken film;
Ekran seramik hedef ZnS—Mn, ZnS-Tb, ZnS-Sm, CaS-Eu, SrS-Ce, Si3N4, MgO
Manyetik kayıt seramik hedef Si3N4, esas olarak manyetik kafa, manyeto-optik disk (MO) korumasında kullanılır;
Esas olarak optik disk koruyucu filmde kullanılan optik kayıt seramik tırmık Si3N4;
Süper iletken seramik hedefler, özellikle süper iletken ince filmlerde kullanılan YbaCuO, BiSrCaCuO;
Esas olarak ince film güneş pili pencerelerinde kullanılan dev manyetodirençli seramik hedef;
Diğer uygulama InO, LiNbO, BaTiO, PZT'yi hedefler.ZnO, esas olarak güneş pillerinde, piezoelektrik ince filmlerde kullanılır
Kimyasal bileşime göre, oksit seramik hedefler, silisit seramik hedefler, nitrür seramik hedefler, florür seramik hedefler ve sülfür seramik hedefler vb. ..Yüksek dielektrik yalıtıcı filmler için seramik hedefler ve dev manyetoresistance seramik hedefler geniş uygulama beklentilerine sahiptir.
Örnek vermek
Oksit seramik püskürtme hedefleri, gelişmiş seramik püskürtme hedefleri arasında en yaygın hedeflerdir.Oksit seramikler, ana bileşen olarak bir veya daha fazla oksit ve katkı maddesi olarak diğer küçük oksitler ile yüksek sıcaklıklarda sinterleme yoluyla yapılabilir.Basit oksit seramikler ve karmaşık oksit seramikler olarak ikiye ayrılırlar.Bu türden yaygın püskürtme hedefleri arasında alüminyum oksit (Al2O3), magnezyum oksit (MgO), berilyum oksit (BeO), zirkonyum oksit (ZrO2) ve diğerleri bulunur.Çoğu oksit seramik, yüksek erime noktalarına, mükemmel yalıtıma, ısıl dayanıklılığa, antioksidan ve korozyon özelliklerine sahiptir.Bu nedenle, yüksek sıcaklığa ve oksitleyici ortama uzun süre maruz kalabilirler ve mühendislik alanında geniş bir uygulamaya değerdirler.