silisyum karbür taban
Uygulama
►Yarı iletken imalat süreçlerinde wafer iletimi için kullanılır.
►Yarı iletken imalatında, son derece ince bir gofret bir silisyum karbür vakum enayi üzerine yerleştirilir, bir vakum üretecine bağlanır ve vakum emme ile sabitlenir.
►Litografi, dağlama, lazer işleme, gofret algılama ve diğer işlemlerde kullanılabilir.
Özellikler ve avantajlar
►Doğru boyut ve termal kararlılığa, iyi termal iletkenliğe ve düşük genleşme katsayısına sahiptir.
►Uzun süreli kullanımdan sonra bükülmesi ve deforme olması kolay olmayan yüksek özgül sertlik ve mükemmel termal homojenlik;
►Parçacık kirliliği olmadan çipi güvenli bir şekilde işlemek için pürüzsüz bir yüzeye ve iyi aşınma direncine sahiptir.Gözenek çapı küçüktür ve eşit olarak dağıtılır ve gofretin her alanı eşit şekilde adsorbe edilebilir.
►SSiC silisyum karbürün özdirenci 106-108 Ω'dur ve manyetik değildir, ESD spesifikasyonlarının gereksinimlerini karşılar;Statik elektriğin çip yüzeyinde birikmesini önleyebilir.
►Mükemmel asit ve alkali korozyon direnci
►Plazma darbe direnci
Şartname
Dfarklı şekiller ve boyutlarüretilirgöre dizayn çizimler.
SSiC ürünlerinin ürün serisi
| SSiC ürün kategorisi | Ortak ürün adları |
| Yarı iletken proses ve optik mekanik ekipman için yüksek hassasiyetli bileşenler | SiC kristal tekne, mekanik kol, SiC taban, üçgen destek, SiC enayi, vb. |
| Cam şekillendirme için parçalar | SiC ısıtma plakası, SiC ıslatma plakası, SiC kalıbı, SiC kalıp manşonu |
| Kurşun geçirmez seramik tuğlalar ve seramik plakalar | SSiC kurşun geçirmez ekleme plakası, SSiC kurşun geçirmez parça, SSiC kurşun geçirmez blok |
| Optik reflektör bileşenleri | SSiC optik reflektör |
| Akışkan Kontrol Serisi | SSiC sızdırmazlık halkası, SSiC nozulu, SSiC pervane, SSiC mil kovanı, SSiC piston çubuğu |
| Yüksek sıcaklığa dayanıklı parçalar | SSiC yakma çubuğu, kare kiriş ve rulo, SSiC pota, SSiC brülör kovanı, SSiC fırın borusu, SSiC koruyucu boru |
| Kimyasal korozyona dayanıklı parçalar | SSiC koruyucu kılıf, SSiC nozül, SSiC kafası, ısı eşanjörü boru levhası, SSiC boru demeti bloğu, SSiC ısı değişim plakası, SSiC ısı değişim borusu, SSiC ısı değişim kontrol bloğu, SSiC ısı değişim bloğu, mikro reaksiyon modülü |
| İyona dayanıklı aşındırma parçaları | SSiC CMP taşıyıcısı, SSiC ICP taşıyıcısı, SSiC PVD taşıyıcısı, SSiC RTA taşıyıcısı, SSiC taşıyıcısı |
| Aşınmaya dayanıklı parçalar | SSiC taşlama silindiri, SSiC aşınmaya dayanıklı boru, SSiC aşınmaya dayanıklı tuğla, SSiC aşınmaya dayanıklı plaka, SSiC sızdırmazlık halkası, SSiC kumlama nozulu, SSiC nozulu, SSiC taşlama bilyası, SSiC cıvata ve somun |
| SSiC rulman | SSiC rulman, seramik rulman bilyası |
| Mikrokanal reaksiyon ünitesi | SSiC reaksiyon plakası, SSiC reaksiyon tüpü, SSiC mikro reaksiyon modülü |
| SSiC tüp | Eşanjör borusu, ısı değiştirici seramik boru |
| SSiC mil kovanı | SSiC yatak kovanı, SSiC hassas seramik yatak, SSiC mil kovanı |
| Diğer özelleştirilmiş ürünler | SSiC özelleştirilmiş parçalar, SSiC özelleştirilmiş seramik parçalar |
