Silisyum Nitrür Seramik bloklar, fayanslar, plakalar, vb.
Özellikleri
►Yüksek mukavemet: Eğilme mukavemeti, AL2O3 ve ALN alt tabakalarının yaklaşık iki katıdır.
►Yüksek ısı iletkenliği: AL2O3 substratından 3 kat daha fazladır.
►Hafif ve ince: kalınlığı AlN substratın 1/2'sine ulaşabilir
►Mükemmel termal şok direnci: termal genleşme katsayısı silikonunkine yakındır.
Öğe | Birim | Al2O3 | AİN | Si3N4 | |
Yoğunluk | g/cm2 | 3,75 | 3.3 | 3.22 | |
Kalınlık | mm | 0,3175~1,0 | 0,4~2,5 | 0,238~0,635 | |
Yüzey pürüzlülük seviyesi (Ra) | mikron | 0.4 | 0.2 | 0.4 | |
Mekanik özellikler | eğilme direnci | Mpa | 310~400 | 300~450 | 650 |
Gencin modülü | ortalama | 330 | 320 | 310 | |
Vickers sertliği | ortalama | 14 | 11 | 15 | |
kırılma tokluğu | Mpa.ml/2 | 3~4 | 2~4 | 5~7 | |
termal genleşme katsayısı | 10-6/K | 7.1~8.1 | 4,5~4,6 | 2.6 | |
Termal iletkenlik | W/(mK) | 20~30 | 160~255 | 60~120 | |
Özısı | J/(kg/K) | 750 | 720 | 680 | |
Elektriksel özellikler | Dielektrik sabiti | / | 9~10 | 8~9 | 7~9 |
dielektrik kayıp teğet | ...10-3 | 0.2 | 0.3 | 0.4 | |
Hacim direnci | Ω.m | >1012 | >1012 | >1012 | |
Arıza gerilimi | kv/mm | >12 | >14 | >14 |