Mục tiêu gốm sứ
Các loại mục tiêu gốm và ứng dụng tương ứng của chúng
Theo ứng dụng, nó có thể được chia thành các mục tiêu gốm liên quan đến chất bán dẫn, mục tiêu gốm hiển thị, mục tiêu gốm ghi từ tính, mục tiêu gốm ghi quang, mục tiêu gốm siêu dẫn, mục tiêu gốm từ điện trở khổng lồ, v.v.
Các mục tiêu gốm liên quan đến chất bán dẫn (HfO, SiO, Si3N4, MoSi, TaSi, WSi, TiSi, PLZT, ITO, chủ yếu được sử dụng trong màng điện môi cổng. Màng khuếch tán, màng chắn khuếch tán, màng cách điện tụ điện, màng dẫn điện trong suốt;
Hiển thị mục tiêu gốm ZnS—Mn, ZnS-Tb, ZnS-Sm, CaS-Eu, SrS-Ce, Si3N4, MgO
Mục tiêu gốm ghi từ tính Si3N4, chủ yếu được sử dụng trong bảo vệ đầu từ, đĩa quang từ (MO);
Cào gốm ghi quang Si3N4, chủ yếu được sử dụng trong màng bảo vệ đĩa quang;
Tiêu gốm siêu dẫn YbaCuO, BiSrCaCuO, chủ yếu dùng trong màng mỏng siêu dẫn;
Mục tiêu gốm từ điện trở khổng lồ, chủ yếu được sử dụng trong cửa sổ pin mặt trời màng mỏng;
Các mục tiêu ứng dụng khác InO, LiNbO, BaTiO, PZT.ZnO, chủ yếu được sử dụng trong pin mặt trời, màng mỏng áp điện
Theo thành phần hóa học, nó có thể được chia thành các mục tiêu gốm oxit, mục tiêu gốm silicide, mục tiêu gốm nitride, mục tiêu gốm florua và mục tiêu gốm sunfua, v.v. Trong số đó, mục tiêu gốm ITO màn hình phẳng đã được sản xuất và ứng dụng rộng rãi ở Trung Quốc ..Các mục tiêu gốm cho màng cách điện điện môi cao và các mục tiêu gốm từ điện trở khổng lồ có triển vọng ứng dụng rộng rãi.
Ví dụ
Các mục tiêu phún xạ gốm oxit là các mục tiêu phổ biến nhất trong số các mục tiêu phún xạ gốm tiên tiến.Gốm oxit có thể được tạo ra bằng cách thiêu kết ở nhiệt độ cao, với một hoặc nhiều oxit là thành phần chính và các oxit phụ khác làm chất phụ gia.Chúng được chia thành gốm oxit đơn giản và gốm oxit phức tạp.Các mục tiêu phún xạ phổ biến của loại này bao gồm oxit nhôm (Al2O3), oxit magiê (MgO), oxit berili (BeO), oxit zirconium (ZrO2) và các loại khác.Hầu hết gốm oxit có điểm nóng chảy cao, cách nhiệt tuyệt vời, độ bền nhiệt, chống oxy hóa và ăn mòn.Do đó, chúng có thể tiếp xúc với nhiệt độ cao và môi trường oxy hóa trong một thời gian dài và xứng đáng được ứng dụng rộng rãi trong lĩnh vực kỹ thuật.