đế silic cacbua
Đăng kí
►Nó được sử dụng để truyền các tấm wafer trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn.
►Trong sản xuất chất bán dẫn, một tấm wafer cực mỏng được đặt trên một máy hút chân không cacbua silic, được kết nối với một máy tạo chân không và được cố định bằng lực hút chân không.
►Nó có thể được sử dụng trong in thạch bản, khắc, xử lý laser, phát hiện wafer và các quy trình khác.
Tính năng và ưu điểm
►Nó có kích thước chính xác và ổn định nhiệt, dẫn nhiệt tốt và hệ số giãn nở thấp.
►Độ cứng riêng cao và tính đồng nhất nhiệt tuyệt vời, không dễ uốn cong và biến dạng sau thời gian dài sử dụng;
►Nó có bề mặt nhẵn và khả năng chống mài mòn tốt, để xử lý chip một cách an toàn mà không gây ô nhiễm hạt.Đường kính lỗ nhỏ và phân bố đều, và mỗi khu vực của wafer có thể được hấp phụ đồng đều.
►Điện trở suất của cacbua silic SSiC là 106-108 Ω, và nó không có từ tính, đáp ứng các yêu cầu của thông số kỹ thuật ESD;Nó có thể ngăn tĩnh điện tích tụ trên bề mặt chip.
►Chống ăn mòn axit và kiềm tuyệt vời
►Chống va đập plasma
Sự chỉ rõ
Dhình dạng và kích cỡ khác nhauđược sản xuấtdựa theo thiết kế bản vẽ.
Dòng sản phẩm của sản phẩm SSIC
| Danh mục sản phẩm SSiC | Tên sản phẩm phổ biến |
| Linh kiện chính xác cao cho quá trình bán dẫn và thiết bị cơ khí quang học | Thuyền pha lê SiC, cánh tay cơ khí, đế SiC, giá đỡ hình tam giác, mút SiC, v.v. |
| Bộ phận tạo hình thủy tinh | Tấm gia nhiệt SiC, tấm ngâm SiC, khuôn SiC, ống bọc khuôn SiC |
| Gạch gốm chống đạn và tấm gốm | Tấm chống đạn SSiC, miếng chống đạn SSiC, block chống đạn SSiC |
| Linh kiện phản quang | Phản xạ quang SSiC |
| Dòng kiểm soát chất lỏng | Vòng đệm SSiC, vòi SSiC, cánh quạt SSiC, ống lót trục SSiC, thanh pít tông SSiC |
| Bộ phận chịu nhiệt độ cao | Thanh đốt SSiC, thanh đốt vuông và con lăn, chén nung SSiC, ống bọc đầu đốt SSiC, ống nung SSiC, ống bảo vệ SSiC |
| Các bộ phận chống ăn mòn hóa học | Vỏ bảo vệ SSiC, vòi SSiC, đầu SSiC, tấm ống trao đổi nhiệt, khối bó ống SSiC, tấm trao đổi nhiệt SSiC, ống trao đổi nhiệt SSiC, khối điều khiển trao đổi nhiệt SSiC, khối trao đổi nhiệt SSiC, mô-đun phản ứng vi mô |
| Bộ phận khắc chống ion | Chất mang SSiC CMP, chất mang SSiC ICP, chất mang SSiC PVD, chất mang SSiC RTA, chất mang SSiC |
| Các bộ phận chịu mài mòn | Xi lanh mài SSiC, ống chịu mài mòn SSiC, gạch chịu mài mòn SSiC, tấm chịu mài mòn SSiC, vòng đệm SSiC, vòi phun cát SSiC, vòi phun SSiC, bi mài SSiC, bu lông và đai ốc SSiC |
| mang SSiC | Vòng bi SSiC, vòng bi sứ |
| Đơn vị phản ứng vi kênh | Tấm phản ứng SSiC, ống phản ứng SSiC, mô-đun phản ứng vi mô SSiC |
| ống SSiC | Ống trao đổi nhiệt, ống gốm trao đổi nhiệt |
| Tay áo trục SSiC | Ống bọc ổ trục SSiC, ổ trục gốm chính xác SSiC, ống bọc trục SSiC |
| Các sản phẩm tùy chỉnh khác | Bộ phận tùy chỉnh SSiC, bộ phận gốm tùy chỉnh SSiC |
